Несколько Фиджи Плазменные ALD систем, приобретенных Соединенных Штатов Национальной Лаборатории перспективных исследований материалов

Published on December 1, 2009 at 2:09 AM

Кембридж Нанотех , мировой лидер в области атомного слоя осаждения (ALD) науки и техники, сегодня объявила о приобретении трех Фиджи серии плазменных систем ALD США National Laboratories. "Интерес, который мы получили в Фиджи было подавляющим", сказал Ганеш Сундарам, вице-президент по технологиям в Кембридже Нанотех. "Потенциальные достижения в области материаловедения и химии, которые стали возможны благодаря Фиджи являются внеочередными."

Три Fijis были приобретены Военно-морской исследовательской лаборатории (NRL), Военно-воздушные силы Research Lab (AFRL) и армии Research Lab (ARL). "Мы обнаружили, что эти ведущих национальных лабораторий привлекает гибкость предлагаемых Фиджи, которое в свою очередь позволяет им расширять свои материалы и возможности приборостроения", сказал д-р Сундарам.

NRL планирует провести исследование роста оксидов, металлов и полупроводников, таких как InGaN, которые охватывают диапазон температур до 1000 ° C. Эти материалы представляют интерес для ВМС США, поскольку они обещают повышение производительности в будущем связи, радаров и систем управления питанием.

Исследования, проведенные на Фиджи в AFRL Райт-Паттерсон базы ВВС будут направлены на электрические свойства ультратонких плазменных генерируемых HfO2 фильмов и ARL собирается использовать Фиджи для поддержки электронных материалов и проектов устройств с конформной осаждения высокого качества полупроводниковых, диэлектрических и металлических пленок.

"Мы обнаружили, что Фиджи в сочетании возможностей растущего ультра-тонкие пленки с плазмой генерируемых совместно реагенты и позволяет на месте фильм анализа, таких как OES, эллипсометрии, ленгмюровских зондов и QCM, были необходимы для успешного функционирования системы , "сказал Марк Сова, старший научный сотрудник в Кембридж Нанотех.

На этой неделе пожалуйста, посетите Кембридже Нанотех на стенде № 709 в Обществе исследования материалов встрече в Бостоне, штат Массачусетс, где Фиджи будут выставлены.

Как ведущий поставщик атомно-слоевого осаждения (ALD) решений, Кембридж Нанотех имеет более 160 ALD систем, установленных по всему миру. Кембридж Нанотех применяет свои знания для решения уникальных задач покрытие на основе сотрудничества на прорывных исследований с клиентами и предлагая следующего поколения тепловые, плазменно-расширения и большой площади ALD систем. Чтобы узнать больше, посетите нас на.

Last Update: 3. October 2011 15:51

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit