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Posted in | Nanoanalysis

Bruker N8 Titanos Liefert Jetzt Höchstes Räumliches Auflösungsvermögen

Published on December 8, 2009 at 5:41 PM

Bruker Nano heute angekündigt, dass sein FLUGHANDBUCH Inspektion Großprobe N8 TITANOS™ weiter verbessert worden ist, um höchstes räumliches Auflösungsvermögen zur Verfügung zu stellen. Wegen seiner eindeutigen FLUGHANDBUCH-Technologie und hervorragenden mechanischen Stabilität, ist das TITANOS jetzt mit Atom-schuppe Auflösung auf HOPG (in hohem Grade orientierter pyrolythic Graphit) auf einem Produktionsinstrument in der Standardkonfiguration demonstriert worden.

Das N8 TITANOS hat sich noch einmal als die genaueste und stabilste FLUGHANDBUCH-Plattform für große Proben bis zu 300 mm-Durchmesser geprüft.

Das N8 TITANOS ist für die Inspektion von 300 mm-Wafers entwickelt worden, und es ist auch für Metrologie auf Sonnenkollektoren, photolithographiemasken, Flachbildschirmanzeigen, Usw. gebräuchlich. Ultra-genaue x-y-Positionierungsstufe des TITANOS' setzt kontaktlose Linearmotoren, hochauflösende Glaskodierer und ein Luftpolster für schnelle, reproduzierbare Beispielbewegung ein.

Das TITANOS FLUGHANDBUCH wird an einer festen Granitbrücke über der Plattform montiert.
Alle FLUGHANDBUCH-Anlagen, die durch Nano Bruker angeboten werden, setzen Faser-OptikInterferometrie (FOI)befund als eindeutiges Merkmal ein, um hervorragende Auflösung sogar auf großen Proben zu erzielen. „FOI liefert überlegene Empfindlichkeit sowie erklärt ein kalibrierter Ausschlag,“ Dr. Hans Achim Fuss, Bruker Nano-Leitender Technologie-Beamter FLUGHANDBUCHS. „Die Ergebnisse, die mit unserem AFMs erzielt werden, liegen in hohem Grade reproduzierbares an den genauen Kenntnissen aller entscheidenden Parameter.“

Dr. Frank Saurenbach, Vizepräsident für FLUGHANDBUCH an Bruker Nano weiter kommentiert: „Es ist unglaublich, Stufen-Bewegungshunderte zu sehen des TITANOS' von den mm in Sekunden und bedient dann mit solcher Stabilitäts- und Satzauflösung in jeder neuen messenden Stellung. Wir werden erregt, um das große Beispiel-FLUGHANDBUCH-Hilfsmittel mit dem höchsten Auflösungsvermögen anzugeben, das auf dem Markt“ erhältlich ist.

Das N8 TITANOS kann als unabhängige, automatisierte Anlage verwendet werden oder mit einem leistungsstarken optischen Mikroskop kombiniert werden. Es kommt als völlig zugängliches R&D-Hilfsmittel oder kann zu einem AnLineproduktionskontrollsystem ausgebaut werden.

Last Update: 13. January 2012 11:16

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