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Posted in | Nanoanalysis

Bruker N8 Titanos Fournit maintenant les plus élevés de puissance de résolution spatiale

Published on December 8, 2009 at 5:41 PM

Bruker Nano annoncé aujourd'hui que son N8 Titanos ™ un grand échantillon d'inspection AFM a encore été amélioré pour fournir plus de puissance de résolution spatiale. Grâce à sa technologie unique et AFM exceptionnelle stabilité mécanique, le Titanos a maintenant été démontrée avec l'échelle atomique résolution sur HOPG (graphite hautement orienté pyrolythic) sur un instrument de production en configuration standard.

La N8 Titanos s'est avéré une fois de plus comme la plateforme la plus précise et stable AFM pour de grands échantillons jusqu'à 300 mm de diamètre.

La N8 Titanos a été développé pour l'inspection des wafers de 300 mm, et il est également en usage pour la métrologie sur les panneaux solaires, masques de photolithographie, les écrans plats, etc Titanos «ultra-précis de positionnement xy étape emploie contactez-moins linéaire Les moteurs, les encodeurs de verre à haute résolution et un palier à air pour rapide, le mouvement échantillon reproductible.

L'AFM Titanos est monté sur un pont de granit solide au-dessus de la plateforme.
Tous les systèmes proposés par l'AFM Bruker Nano emploient interférométrie à fibre optique (FOI) de détection comme une caractéristique unique d'atteindre une résolution exceptionnelle, même sur de grands échantillons. «Accès à l'information fournit une sensibilité supérieure, ainsi qu'un fléchissement calibrés», explique le Dr Hans Achim Fuss, directeur de Bruker Nano AFM Chief Technology. «Les résultats obtenus avec notre AFM sont hautement reproductibles en raison de la connaissance exacte de tous les paramètres cruciaux."

Dr Frank Saurenbach, vice-président pour l'AFM chez Bruker Nano commenté plus loin: «Il est incroyable de voir des centaines des Titanos« déplacer stade de millimètres en quelques secondes, puis fonctionner avec une telle stabilité et la résolution d'enregistrement à chaque position de mesure nouvelle. Nous sommes ravis de fournir l'échantillon de grandes outil AFM avec le plus grand pouvoir de résolution disponibles sur le marché ".

La N8 Titanos peut être utilisé comme un stand-alone, un système automatisé ou combiné avec un microscope à haute performance optique. Il vient comme un entièrement accessible de R & D d'outils, ou peuvent être mis à niveau vers un système à la ligne de production d'inspection.

Last Update: 8. October 2011 01:28

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