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Posted in | Nanoanalysis

ブルカーN8 Titanosは今最高の空間分解能を提供します。

Published on December 8, 2009 at 5:41 PM

ブルカーナノは本日、同社のN8 TITANOSは™、大サンプル検査AFMがさらに高い空間分解能を提供するように改善されていることを発表しました。独自のAFMの技術と優れた機械的安定性のために、TITANOSは、現在標準的な構成の生産装置でのHOPG(高配向pyrolythicグラファイト)上で原子スケールの分解能で明らかにされている。

N8 TITANOSは、直径300mmまでの大型試料のための最も正確で安定したAFMのプラットフォームとして、再び自分自身を証明しています。

N8 TITANOSは、300mmウェーハの検査用に開発され、それはTITANOS"超精密XY位置決めステージは、非接触リニアを採用した太陽電池パネル、フォトリソグラフィマスク、フラットパネルディスプレイ等の計測に使用されてもですされていますモーター、高解像度のガラスエンコーダおよび高速、再現可能なサンプルの移動のためのエアベアリング。

TITANOS AFMは、プラットフォーム上の花崗岩の橋に取り付けられている。
ブルカーナノ提供する全ての原子間力顕微鏡システムでは、さらに大規模なサンプルで優れた分解能を達成するためのユニークな機能として、光ファイバ干渉計(FOI)の検出を採用しています。 "FOIは、優れた感度と同様に校正されたたわみを提供する、"ハンスアキムファス、ブルカーナノのAFMの最高技術責任者は説明する。 "我々のAFMsで得られた結果が原因ですべての重要なパラメータの正確な知識に非常に再現性があります。"

博士はフランクSaurenbach、ブルカーナノでのAFMのための副社長は、さらにコメント:"それは各々の新しい測定位置でそのような安定性と記録の分解能で動作して秒単位ミリメートルTITANOS'ステージの移動数百を参照してください、とに信じられないです。我々は、"市場で入手可能な最高の解像力を持つ大規模なサンプルのAFMツールを供給することに興奮している。

N8 TITANOSは、スタンドアロン、自動化されたシステムとして使用したり、高性能の光学顕微鏡と組み合わせることができます。それは完全にアクセス可能なR&Dツールとして提供、またはアットライン生産の検査システムにアップグレードすることができます。

Last Update: 5. October 2011 12:14

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