Posted in | Nanoanalysis

布魯克 N8顏鈦現在提供最高空間分辨率

Published on December 8, 2009 at 5:41 PM

布魯克納米今天宣布,其N8顏鈦™大樣本檢驗原子力顯微鏡得到了進一步的改進,以提供最高空間分辨能力。由於其獨特的原子力顯微鏡技術和優異的機械穩定性,在顏鈦現在已經被證明與原子尺度的HOPG表面上的標準配置中的​​生產工具(高度面向pyrolythic石墨)的決議。

N8顏鈦再次證明了自己作為最精確和穩定的的原子力顯微鏡為直徑 300毫米的大樣本的平台。

N8顏鈦已開發 300毫米晶圓的檢查,它也是使用的太陽能電池板,光刻口罩,平板顯示器,等計量顏鈦“超精密XY定位階段採用非接觸式線性電機,高清晰度玻璃的編碼器和快速,重現性好樣的運動空氣軸承。

顏鈦原子力顯微鏡上安裝了一個堅實的平台以上的花崗岩橋。
布魯克納米所提供的所有原子力顯微鏡系統聘請光纖干涉(FOI)檢測作為一個獨特的功能,以實現出色的分辨率,即使在大樣本。 “政府信息公開提供了卓越的靈敏度,以及校準偏轉,解釋說:”漢斯阿齊姆施泰納做文章,布魯克納米的原子力顯微鏡技術總監。 “我們的原子力顯微鏡得到的結果是高度重複性,由於所有關鍵參數的確切知識。”

布魯克納米原子力顯微鏡副總裁弗蘭克博士Saurenbach,進一步評論說:“令人難以置信的是,看到顏鈦”的階段,在幾秒鐘毫米移動數百,然後與穩定和記錄分辨率在每一個新的測量的位置。我們很高興能提供最高的分辨能力,在市場上“大樣本的原子力顯微鏡工具。

N8顏鈦可以作為一個獨立的,自動化系統,或結合一個高性能的光學顯微鏡。它是一個完全無障礙的研發工具,或可升級為一個在生產線檢查制度。

Last Update: 12. October 2011 01:17

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit