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STMicroelectronics Wählte das HKMG-Technologie der Angewandten Materialien für Produktion von 28nm Digitalbausteinen aus

Published on December 8, 2009 at 6:02 PM

Applied Materials, Inc. kündigte heute dieses STMicroelectronics (ST) an, einen führenden Halbleiterhersteller, hat der Angewandten Materialien hoch--K/Metalltortechnologie (HKMG) für die Produktion seiner 28nm Digitalbausteine ausgewählt. Angewandte hochmoderne HKMG-Technologie wird eingesetzt, um die kritischen Transistortorschichten in zukünftigen Einheiten Anlage-aufchip ST. an seinem Teildienst in Crolles, Frankreich zu fabrizieren.

HKMG ist eine auftauchende Technologie, die die Fortsetzung von Moores Gesetz erlaubt und aktiviert schnellere Schaltverzögerung bei der Verringerung der Einheits-Leistungsaufnahme. Traditionelles Siliciumdioxid als der Haupttornichtleiter Austauschend, integriert die neue HKMG-Zelle ein hafnium-basiertes hoch--K Material mit einer neuen Metallgate-Elektrode, um Kapazitanz zu erhöhen und Leckagestrom zu steuern.

„Wir werden beeindruckt und extrem gefallen mit der Drehzahl, an der Zutraf, hat integrierte hoch--K/Metalltorlösungen, die unsere Anforderungen der Einheit 28nm ansprechen, entwickelt,“ sagte Joël Hartmann, Silikon-Technologie-Entwicklungs-Direktor für STMicroelectronics in Crolles, Frankreich. „Wir sind überzeugt, dass durch unsere anhaltende Zusammenarbeit mit Angewandten Materialien wir unsere Lösung 28nm HKMG in Massenproduktion schnell holen können.“

Majorsherausforderungen zur Implementierung von HKMG-Technologie für die Industrie sind die Entwicklung von manufacturable Prozessen unter Verwendung der neuen Materialien gewesen, die optimale Transistoreigenschaften beim Beibehalten der Integrität des dielektrischen Stapels zur Verfügung stellen können. Angewandt hat einen Mehrstufenprozeß entwickelt, der seine Spitzentechnologien kombiniert, um ST. mit einer robusten und zuverlässigen HKMG-Lösung zu versehen. Zu mehr Information über Angewandte HKMG-Technologie, Besuch: www.appliedmaterials.com/products/Highk_MetalGate_4.html.

„Diese wichtige Zusammenarbeit mit ST. zeigt, dass unsere hoch--K/Metalltorlösung in ihren Digitalbausteinen mit überlegener Leistung erfolgreich integriert werden kann,“ sagte Steve Ghanayem, UnternehmensVizepräsident und Generaldirektor der Angewandten Vorderseite und der MetallAbsetzungs-ProduktUnternehmenseinheit. „Auswahl ST. unserer hoch--K/Metalltorprozesse ist- ein starkes Testament zur Arbeit, die wir getan haben, um Produktion-angemessene Lösungen für diese schwierige neue Transistortechnologie zur Verfügung zu stellen.“

Applied Materials, Inc. (Nasdaq: AMAT) ist der globale Führer in Lösungen Nanomanufacturing Technology™ mit einem breiten Effektenbestand von innovativen Geräten-, Service- und Software-Produkten für die Fälschung von Halbleiterchips, von Flachbildschirmanzeigen, von Solarsolarzellen, von flexibler Elektronik und von Energiesparendem Glas. An Angewandten Materialien wenden wir Nanomanufacturing-Technologie an, um die Live Methodenleute zu verbessern.

Last Update: 13. January 2012 11:16

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