STMicroelectronics seleccionó la tecnología de Applied Materials HKMG para la Producción de Dispositivos lógicos de 28nm

Published on December 8, 2009 at 6:02 PM

Applied Materials, Inc. ha anunciado hoy que STMicroelectronics (ST), un fabricante de semiconductores, Applied Materials ha seleccionado 'high-k/metal puerta (HKMG) la tecnología para la producción de sus dispositivos de lógica de 28nm. El estado de la técnica aplicada es la tecnología HKMG serán utilizados para la fabricación de las capas de transistores críticos puerta en la próxima generación del sistema ST-on-chip de los dispositivos en sus instalaciones en Crolles, Francia.

HKMG es una tecnología emergente que permite la continuación de la Ley de Moore, lo que permite una mayor velocidad de conmutación, mientras que la reducción del consumo de energía del dispositivo. Sustitución de dióxido de silicio tradicionales como el dieléctrico de puerta principal, la estructura integra un nuevo HKMG basada en hafnio de high-k de material con un electrodo de puerta de metal nuevas para aumentar la Capacidad de derivación y control de la corriente.

"Estamos impresionados y muy satisfechos con la velocidad a la que se aplica ha desarrollado soluciones integrales puerta high-k/metal que atiendan a nuestros requisitos de los dispositivos de 28nm", dijo Joel Hartmann, Director de Desarrollo de Tecnología de Silicio de STMicroelectronics en Crolles, Francia. "Estamos seguros de que a través de nuestra continua colaboración con Applied Materials rápidamente podemos llevar nuestra solución HKMG 28nm en producción en volumen."

Los principales desafíos a la tecnología HKMG de aplicación de la industria han sido el desarrollo de los procesos de manufacturable uso de nuevos materiales que pueden ofrecer características óptimas transistor, manteniendo la integridad de la pila de dieléctrico. Aplicado ha desarrollado un proceso de múltiples pasos que combina sus tecnologías de vanguardia para proporcionar ST con una solución HKMG robusto y fiable. Para más información sobre la tecnología aplicada HKMG, visite: www.appliedmaterials.com/products/Highk_MetalGate_4.html.

"Esta importante colaboración con ST demuestra que nuestra solución de puerta de high-k/metal puede ser integrado con éxito en sus dispositivos de lógica con un rendimiento superior", dijo Steve Ghanayem, Vicepresidente Corporativo y Gerente General de Front End Aplicada y la deposición de metales Productos unidad de negocio. "La selección de ST de nuestros procesos puerta high-k/metal es una prueba fehaciente de que el trabajo que hemos hecho para proporcionar una producción digna de soluciones para esta tecnología de transistores nuevo reto."

Applied Materials, Inc. (Nasdaq: AMAT) es el líder global en soluciones de nanofabricación Technology ™ con una amplia cartera de innovadores equipos de servicios y productos de software para la fabricación de chips semiconductores, pantallas planas, células solares fotovoltaicas, la electrónica flexible y energía vidrio eficiente. En Applied Materials, aplicamos tecnología de nanofabricación para mejorar la manera de vivir.

Last Update: 6. October 2011 23:21

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