ハイデルベルクインスツルメンツは、アジアから2つの高度なVPGマスクレスリソグラフィシステムを受注

Published on December 18, 2009 at 6:32 AM

ハイデルベルグインスツルメンツ 、GmbHは、ハイデルベルク、ドイツ、直接書き込みレーザーリソグラフィシステムのリーディングサプライヤは、アジアベースのフォトマスクの生産グループから2つの先進VPGマスクレスリソグラフィシステムの順序を発表しました。

これらのシステムは8​​00mm、800 mmまでの書き込み領域を持ち、50nmのアドレスのグリッドで、1.0μmの構造を公開することができるようになります。

"2009年下半期の間に私達は明らかに業界内での生産のツールの需要にピックアップを見てきました。我々は、その優れた信頼性と品質と共に、スループット、別の大手アジアベースのフォトマスク製造会社は、その優れた技術にVPGシステムを選択したことを非常に嬉しく思っています。"アレキサンダーForozan、グローバルセールスおよび事業開発部門長を明記

ハイデルベルグインスツルメンツ、社について:30カ国以上でインストールベースで、ハイデルベルクインスツルメンツは、高精度のマスクレスリソグラフィシステムの生産の世界的リーダーです。これらのシステムは、MEMS、バイオMEMS、ナノテクノロジー、アシックス、TFT、プラズマディスプレイ、マイクロオプティクス、および他の多くの関連アプリケーションの分野で最も権威のある大学と産業界のリーダーたちによる直接書き込みやフォトマスクの製造に使用されます。

Last Update: 22. November 2011 13:37

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