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하이 델베르크 인 스트 루먼트 아시아에서 주문 두 고급 VPG Maskless 리소그래피 시스템을 받는다

Published on December 18, 2009 at 6:32 AM

하이 델베르크 인 스트 루먼트 , GmbH를, 하이 델베르크, 독일, 직접 쓰기 레이저 리소그래피 시스템의 선도적인 공급 업체는 아시아 기반의 photomask 생산 그룹에서 두 개의 고급 VPG maskless 리소그래피 시스템에 대한 순서를 발표했다.

이러한 시스템은 800mm에서 800mm까지 쓰기 영역을해야합니다 50 NM의 주소 그리드와 아래로 1.0 μm의로 구조를 노출하실 수 있습니다.

"2009 년 하반기 동안 우리는 분명이 산업 생산 도구에 대한 수요가 데리러 볼 수있다. 우리는 또 다른 주요 아시아 기반의 photomask 생산 회사는 뛰어난 신뢰성 및 품질과 함께 우수한 기술, 처리량에 대한 VPG 시스템을 선택했다는 매우 기쁘게 생각합니다. "알렉산더 Forozan, 글로벌 영업 및 사업 개발 책임자 상태

하이 델베르크 인 스트 루먼트, GmbH의 소개 : 30여 개국에 설치 기반으로, 하이 델베르크 인 스트 루먼트는 고정밀 maskless 리소그래피 시스템의 생산에 세계적인 선두 주자입니다. 이러한 시스템은 MEMS, BioMEMS, 나노 기술, ASICS, TFT, 플라즈마 디스플레이, 마이크로 광학 및 기타 여러 관련 애플 리케이션 분야에서 가장 명문 대학 및 업계 리더의 일부로 직접 작성하고 photomask 생산에 사용됩니다.

Last Update: 13. October 2011 00:44

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