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海德堡仪器接收来自亚洲的两高级VPG无掩模光刻系统

Published on December 18, 2009 at 6:32 AM

有限责任公司,德国海德堡,直接写入激光光刻系统的领先供应商,宣布海德堡仪器 ,以便从亚洲的光掩膜制作组两个先进VPG无掩膜光刻系统。

这些系统将有一个写面积高达800毫米至800毫米,将能够暴露结构到1.0微米,50纳米的地址电网,。

“在2009年下半年,我们看到了一个明确的行业内的生产工具的需求。另一个亚洲领先的光掩膜制作公司,选择了其卓越的技术,吞吐量,凭借其出色的可靠性和质量的VPG系统,我们感到非常高兴。“国家,全球销售和业务开发部负责人亚历山大Forozan

关于海德堡仪器有限公司:海德堡仪器安装在30多个国家的基地,是一个世界领先的生产精度高,无掩膜光刻系统。这些系统可用于直接写作和一些最负盛名的大学,并在微机电系统,微机电,纳米技术,ASICS,液晶,等离子显示器,微光学,和其他许多相关的应用领域的行业领导者的光掩膜生产。

Last Update: 7. October 2011 08:13

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