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海德堡儀器接收來自亞洲的兩高級 VPG無掩模光刻系統

Published on December 18, 2009 at 6:32 AM

有限責任公司,德國海德堡,直接寫入激光光刻系統的領先供應商,宣布海德堡儀器 ,以便從亞洲的光掩膜製作組兩個先進VPG無掩膜光刻系統。

這些系統將有一個寫面積高達 800毫米至800毫米,將能夠暴露結構到1.0微米,50納米的地址電網,。

“在2009年下半年,我們看到了一個明確的行業內的生產工具的需求。另一個亞洲領先的光掩膜製作公司,選擇了其卓越的技術,吞吐量,憑藉其出色的可靠性和質量 VPG系統,我們感到非常高興。“國家,全球銷售和業務開發部負責人亞歷山大 Forozan

關於海德堡儀器有限公司:海德堡儀器安裝在30多個國家的基地,是一個世界領先的生產精度高,無掩膜光刻系統。這些系統可用於直接寫作和一些最負盛名的大學,並在微機電系統,微機電,納米技術,ASICS,液晶,等離子顯示器,微光學,和其他許多相關的應用領域的行業領導者的光掩膜生產。

Last Update: 4. October 2011 23:29

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