Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

STMicroelectronics Sammenføjninger CEA-Leti IMAGINE program til udvikling af flere e-beam litografi

Published on January 18, 2010 at 7:28 AM

STMicroelectronics og CEA-Leti , den førende franske halvleder Research Institute, har underskrevet en aftale om STMicroelectronics at slutte den nye industri / forskning multi-partner IMAGINE program, ledet af CEA-Leti, som omfatter TSMC, for maske-mindre litografi for IC produktion .

Denne tre-årigt program er beregnet til at give virksomhederne mulighed for at vurdere en maskless litografi infrastruktur til IC fremstilling og brug af Mapper * Teknologi for high-throughput. De mange e-beam litografi program dækker en global tilgang til teknologi, herunder værktøj til vurdering, mønster og procesintegration, datahåndtering, prototyping og omkostningsanalyse.

"STMicroelectronics har arbejdet i mere end et årti med CEA-Leti på maskless litografi. Sammen har ST og CEA-Leti etableret en fuld formet-beam kapacitet på STs Crolles pilot linje og demonstreret indsættelse af e-beam teknologi i en standard CMOS proces flow, "siger Joël Hartmann Silicon-Technology Development Director for STMicroelectronics, på Crolles, Frankrig. "Vær med i IMAGINE-programmet er et logisk skridt for ST for at få adgang til en maske-mindre litografi mulige løsning for fremtidig teknologi noder."

"Den IMAGINE Programmet vil drage fordel af den stærke viden og støtte til STMicroelectronics i maskless teknologi," siger Leti administrerende direktør, Laurent Malier. "Oplevelsen af ​​CEA-Leti i e-beam teknologi er blevet styrket i årenes løb ved dette partnerskab med ST for brug af e-beam for avanceret teknologi demonstranter. Med STMicroelectronics støtte IMAGINE program, er vi overbevist om at vi vil lykkes at gøre maskless litografi en holdbar løsning. "

* Mapper kontorer er placeret i Delft, Holland, tæt på Delft University of

Teknologi; Mapper leverer massivt parallelle elektronstråle platforme og dette udstyr levering er en del af samarbejdet programmet.

Last Update: 8. October 2011 04:32

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit