STMicroelectronics Ensambla al CEA-Leti SE IMAGINA Programa Para Desarrollar la Litografía Múltiple del E-Haz

Published on January 18, 2010 at 7:28 AM

STMicroelectronics y el CEA-Leti, el instituto de investigación Francés de cabeza del semiconductor, han firmado un acuerdo para que STMicroelectronics ensamble la nuevas industria/investigación que el programa multisocio SE IMAGINA, llevado por el CEA-Leti, que incluye TSMC, para la litografía de la máscara-menos para la fabricación de IC.

Este programa de tres años se significa para permitir que las compañías evalúen una infraestructura maskless de la litografía para la fabricación de IC y el uso de la Tecnología de MAPPER* para la alto-producción. El programa múltiple de la litografía del e-haz reviste una aproximación global a la tecnología, incluyendo la evaluación de la herramienta, modelar y análisis de proceso de la integración, de manipulación de datos, de la creación de un prototipo y de coste.

“STMicroelectronics ha estado trabajando para más que una década con el CEA-Leti en la litografía maskless. Junto, el ST y el CEA-Leti han establecido una capacidad completa del dar forma-haz en la línea experimental de Crolles del ST y demostrado la inserción de la tecnología del e-haz en un flujo de proceso estándar del CMOS,” dijo al Director del Revelado de la Silicio-Tecnología de Joël Hartmann para STMicroelectronics, en Crolles, Francia. “Ensamblar el programa de la IMAGINACIÓN es un paso de progresión lógico para que el ST consiga el acceso a una solución posible de la litografía de la máscara-menos para los nodos futuros de la tecnología.”

“El programa de la IMAGINACIÓN se beneficiará del conocimiento fuerte y soporte de STMicroelectronics en tecnología maskless,” dijo al CEO de Leti, Laurent Malier. “La experiencia del CEA-Leti en tecnología del e-haz ha sido fortalecida a lo largo de los años por esta sociedad con el ST para usar el e-haz para los manifestantes de la tecnología avanzada. Con STMicroelectronics utilizando el programa de la IMAGINACIÓN, nos convencen que tendremos éxito para hacer litografía maskless una solución viable.”

* Las oficinas del CARTÓGRAFO están situadas en la Cerámica de Delft, El Holandés, cerca de Universidad de la Cerámica de Delft de

Tecnología; El CARTÓGRAFO está entregando masivo las plataformas paralelas del haz electrónico y esta salida del equipo es parte del programa de la colaboración.

Last Update: 13. January 2012 06:39

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