Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

STMicroelectronics sluit zich aan CEA-Leti IMAGINE programma te ontwikkelen meerdere e-beam lithografie

Published on January 18, 2010 at 7:28 AM

STMicroelectronics en CEA-Leti , de toonaangevende Franse halfgeleider-onderzoeksinstituut, hebben een overeenkomst getekend voor STMicroelectronics aan de nieuwe IMAGINE-industrie / onderzoek multi-partner-programma, geleid door CEA-Leti, waaronder TSMC, voor masker-less lithografie te sluiten voor IC-productie .

Dit drie jaar durende programma is bedoeld om bedrijven een maskerloze lithografie infrastructuur voor IC-productie en het gebruik van MAPPER * Technologie voor high-throughput te beoordelen. De meerdere e-beam lithografie programma omvat een globale benadering van de technologie, waaronder gereedschap beoordeling, patronen en procesintegratie, data handling, prototyping en kosten analyse.

"STMicroelectronics werkt al meer dan een decennium met CEA-Leti op maskerloze lithografie. Samen hebben ST en CEA-Leti is een volledig gevormde-beam mogelijkheden op ST Crolles pilot line en aangetoond dat de toevoeging van e-beam-technologie in een standaard CMOS-proces stroom ", zegt Joël Hartmann Silicon-Technology Development Director voor STMicroelectronics, op Crolles, Frankrijk. "Deelnemen aan het IMAGINE programma is een logische stap voor ST om toegang te krijgen tot een masker minder lithografie mogelijke oplossing voor toekomstige technologie nodes."

"Het IMAGINE programma zal profiteren van de sterke kennis en ondersteuning van STMicroelectronics in maskerloze technologie", zegt de CEO van Leti, Laurent Malier. "De ervaring van CEA-Leti in e-beam-technologie is versterkt door de jaren heen door dit partnerschap met ST voor het gebruik van e-beam voor geavanceerde technologie demonstranten. STMicroelectronics Met ondersteuning van het IMAGINE programma, zijn we ervan overtuigd dat we erin zullen slagen om maskerloze lithografie maken een haalbare oplossing. "

* MAPPER kantoren zijn gevestigd in Delft, Nederland, in de buurt van Technische Universiteit Delft

Technologie; MAPPER is het leveren van massaal parallelle elektronenbundels platforms en deze apparatuur levering is onderdeel van de samenwerking programma.

Last Update: 3. October 2011 01:31

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit