Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

STMicroelectronics Соединяет CEA-Leti ПРЕДСТАВЛЯЕТ Программу для того чтобы Начать Множественное Литографирование E-Луча

Published on January 18, 2010 at 7:28 AM

STMicroelectronics и CEA-Leti, ведущий Французский научно-исследовательский институт полупроводника, подписали согласование для STMicroelectronics соединить новый multi-соучастника индустрии/исследования программа ПРЕДСТАВЛЯЕТ, водить CEA-Leti, который включает TSMC, для литографирования маски-менее для изготавливания IC.

Значены, что позволяет Эта трехгодовалая программа компаниям определить maskless инфраструктуру литографированием для изготавливания IC и пользу Технологии MAPPER* для высок-объём. Множественная программа литографированием e-луча покрывает глобальный подход к технологии, включая оценку инструмента, делать по образцу и отростчатое внедрение, регулировать данных, прототипирование и анализ стоимости.

«STMicroelectronics работало для больше чем декада с CEA-Leti на maskless литографировании. Совместно, ST и CEA-Leti устанавливали полную возможность форменн-луча на линии Crolles ST пилотной и продемонстрировано вводу технологии e-луча в стандартном потоке процесса CMOS,» сказал Директору Развития Кремни-Технологии Joël Hartmann для STMicroelectronics, на Crolles, Франция. «Соединять программу ПРЕДСТАВЛЯТЬ логически шаг для ST для того чтобы получить доступ к разрешению литографированием маски-менее возможному для будущих узлов технологии.»

«Программа ПРЕДСТАВЛЯТЬ будет извлекала пользу сильное знание и поддержка STMicroelectronics в maskless технологии,» сказал CEO Leti, Laurent Malier. «Опыт CEA-Leti в технологии e-луча был усилен над летами этим партнерством с ST для использования e-луча для демонстрантов передовой технологии. При STMicroelectronics поддерживая программу ПРЕДСТАВЛЯТЬ, мы убежены что мы преуспеет для того чтобы сделать maskless литографированием жизнеспособное разрешение.»

* Офисы MAPPER расположены в Делфте, Нидерландском, около Университета Делфта

Технология; MAPPER поставляет массивнейше параллельные платформы луча электронов и эта поставка оборудования часть программы сотрудничества.

Last Update: 13. January 2012 08:41

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit