Tegal Corporation, (Nasdaq: TGAL) Pionier von spezialisiert Produktion Lösungen für Fälschung von hoch entwickelt MEMS, Leistung IS und optoelektronische Einheiten, kündigte heute an, dass sie eine Ordnung für ein Tegal 200 Hilfsmittel SES DRIE empfangen hat, ausgerüstet mit der Quelle Tegal ProNovaTM ICP, von einem führenden Hersteller von Präzisionsstartuhren. Tegal wurde die 200 Hilfsmittelordnung SES DRIE nach einer gründlichen wettbewerbsfähigen Bewertung vom Abnehmer zugesprochen, der das Hilfsmittel des Silikons DRIE verwendet, um MEMS-basierte Präzisionsstartuhren zu entwickeln.
„Tegal freut sich, um unsere Tegal 200 zu haben Silikon-Ätzungs-Anlage SES DRIE, die durch diesen wichtigen Hersteller von Präzisionsstartuhren ausgewählt wird. Unser Abnehmer, mit seinem seit langem bestehenden Ansehen für das Produzieren von hochwertigen Produkten, wählte das Hilfsmittel Tegal DRIE nach einer umfangreichen wettbewerbsfähigen Bewertung,“ sagte Thomas Mika, President and CEO, Tegal Corporation. „Wir denken, dass diese bestimmte Ordnung ein starkes Indossament des gewinnenden Wertvorschlags Tegal holt zum Gerätenmarkt des Silikons DRIE ist. Unser Abnehmer wählte Tegal, das auf unserer überlegenen Prozessleistung des Silikons DRIE, überlegenen Nachverkauf Geräten- und Prozesshalterung und auf unserer Fähigkeit, den vor- und Nachverkaufswafer zur Verfügung zu stellen basierte, der aufbereitet Services von unserem Petaluma, von CA und von Annecy, Frankreich, DRIE-Prozessvorführungslabors.“
MEMS-basierte Zeitbegrenzungs- und Frequenzsteuereinheiten machen beträchtliche Überfälle in die gedienten Nebenerscheinungen der Hochpräzision Zeitbegrenzungs-Märkte aktuell, die auf Schwingquarzoszillatoren basieren. Wichtige industrielle und Verbraucheranwendungen für Präzisionsstartuhren umfassen Navigationsgeräte des Globalen Positionsbestimmungssystems, Smartphones und andere drahtlose Nachrichtenübermittlungsprodukte, Kameras, Bewachungen und tragbarer Mediaplayer. Startuhren des Silikons MEMS, einschließlich jene integrierenden piezoelektrischen AlN-Filme, verlegen Quarzstartuhren infolge der demonstrierten Rauheit der Startuhren des Silikons MEMS in Rau-undSturz Anwendungen und wegen ihres preiswerteren. Tegal liefert Hilfsmittel des Silikons DRIE und Hilfsmittel AlN PVD an den Zeitbegrenzungsmarkt für Grundlagenforschungszwecke, für Prozess und Produktentwicklung und für Großserienfertigung.
Die Tegal 200 SE-Anlage ist Plasmaätzungshilfsmittel das mit hoher Schreibdichte, das den Plasma-Ätzungsreaktor Tegal ProNovaTM induktiv verbundenen und magnetische die Plasmabeschränkung kennzeichnet. Das Hilfsmittel kann Tegals patentiertes SCHARFES ausführen - den Super Hohen Längenverhältnis-Prozess und geätzte MerkmalsLängenverhältnisse von größerem als 100:1 in den Produktionsumgebungen erzielen. Zusammen mit seiner hohen Zuverlässigkeit, breiten Prozessfenstern, und hohe Ätzung bewertet, die Tegal 200 SE-Anlage ist ein kritischer Enabler für die Ätzung von den Silikon (SE)filmen, die im MEMS, Biotech, die Leistung IS gefunden werden, optoelektronisch, und Märkten 3D-IC. Hilfsmittel Tegal DRIE werden momentan in zahlreichen Forschung und Entwicklung Labors weltweit eingesetzt und ziehen in den Handels- und akademischen Forschungsprogrammen an, und werden auch in weltweiten MEMS-Gießereien und in anderen engagierten Handelsgroßserienherstellungszeilen gefunden.