Tegal Corporation, (Nasdaq : TGAL) innovateur de spécialisé production solution pour fabrication de avancé MEMS, alimentation électrique IC et dispositifs optoélectroniques, a aujourd'hui annoncé qu'elle a reçu une commande pour un outil de l'EXPERT EN LOGICIEL DRIE de Tegal 200, équipés de la source de Tegal ProNovaTM ICP, d'un premier constructeur de dispositifs de chronométrage de précision. Tegal a été attribué 200 la commande d'outil de l'EXPERT EN LOGICIEL DRIE après un bilan compétitif complet par l'abonnée, qui utilisera l'outil du silicium DRIE pour développer les dispositifs de chronométrage de précision MEMS-basée.
« Tegal est heureux pour avoir notre Système Gravure À L'eau Forte de Silicium de l'EXPERT EN LOGICIEL DRIE de Tegal 200 sélecté par ce constructeur important des dispositifs de chronométrage de précision. Notre abonnée, avec sa réputation existante depuis longtemps pour fabriquer des produits de haute qualité, a choisi l'outil de Tegal DRIE après un vaste bilan compétitif, » a dit Thomas Mika, President and CEO, Tegal Corporation. « Nous pensons que cette commande particulière est un avenant intense de la proposition de gain Tegal de valeur porte au marché de matériel du silicium DRIE. Notre abonnée a choisi Tegal basé sur notre performance supérieure de procédé du silicium DRIE, support après-vente supérieur de matériel et de procédé, et sur notre capacité de fournir le disque pre-- et après-vente traitant des services de notre Petaluma, de CA et d'Annecy, France, laboratoires de processus de démonstration de DRIE. »
les dispositifs MEMS-basés de synchronisation et de contrôle de fréquence transforment des incursions significatives en sous-produits actuel servis à haute précision des marchés de synchronisation basées sur les oscillateurs à cristal de quartz. L'industriel et les applications client Importants pour les dispositifs de chronométrage de précision comprennent des ensembles de navigation de Système de Positionnement Mondial, des smartphones et d'autres produits de communication sans fil, appareils-photo, montres et portables media players. Les dispositifs de chronométrage du Silicium MEMS, y compris ces films piézoélectriques comportants d'AlN, déplacent les dispositifs de chronométrage de quartz en raison de la rugosité expliquée des dispositifs de chronométrage du silicium MEMS dans des applications mouvementées, et à cause de leur plus peu coûteux. Tegal fournit des outils du silicium DRIE et des outils d'AlN PVD au marché de synchronisation pour la recherche fondamentale, pour le procédé et le développement de produits, et pour la production de masse.
Le système d'EXPERT EN LOGICIEL de Tegal 200 est outil à haute densité gravure à l'eau forte de plasma comportant le réacteur inductivement accouplé gravure à l'eau forte de plasma de Tegal ProNovaTM et le confinement magnétique de plasma. L'outil peut faire fonctionner le DIÈSE breveté de Tegal - Procédé Élevé Superbe de Rapport Hauteur/largeur, Réalisant des rapports hauteur/largeur corrodés de caractéristique technique de plus grand que le 100:1 dans des environnements de production. En même temps que sa grande fiabilité, hublots de processus grands, et gravure à l'eau forte élevée calibre, le système d'EXPERT EN LOGICIEL de Tegal 200 est un enabler critique pour corroder des films (SE) de silicium trouvés dans le MEMS, Biotech, IC d'alimentation électrique, optoélectronique, et marchés 3D-IC. Des outils de Tegal DRIE sont actuellement utilisés dans de nombreux laboratoires de recherche et développement dans le monde entier, s'engageant dans des programmes de message publicitaire et de recherche universitaire, et sont également trouvés dans des fonderies de MEMS et d'autres lignes à fort débit commerciales dédiées de fabrication mondiales.