Tegal Corporation, (NASDAQ: TGAL) 혁신자의 전문화하는 생산 해결책을 위해 제작의 향상된 MEMS, 힘 IC와 정밀도 시기를 정하는 장치의 주요한 제조자에서 Tegal ProNovaTM ICP 근원으로, 갖춰지는 광전자 공학 장치, 오늘 알렸습니다 Tegal 200 SE DRIE 공구를 위한 명령을 수신했다는 것을. Tegal는 MEMS 기지를 둔 정밀도 시기를 정하는 장치를 발육시키기 위하여 실리콘 DRIE 공구를 사용할 고객에 의해 철저한 경쟁적인 평가 후에 200 SE DRIE 공구 명령을 수여되었습니다.
"Tegal에는 정밀도 시기를 정하는 장치의 이 중요한 제조자에 의해 선정된 우리의 Tegal 200 SE DRIE 실리콘 식각 시스템이 있기 위하여 만족됩니다. 우리 고객, 고품질 제품 생성을 위한 그것의 자리잡히는 명망과 더불어, 광대한 경쟁적인 평가 후에 Tegal DRIE 공구를 선택했습니다," Thomas Mika 말했습니다, President을과 CEO, Tegal Corporation. "우리는 이 특정한 명령이 실리콘 DRIE 장비 시장에 이기는 가치 건의안 Tegal의 강한 가첨문서 가져온다고이다고 생각합니다. 우리의 고객은 선택했습니다 우리의 우량한 실리콘 DRIE 프로세스 성과, 우량한 판매 후 장비와 프로세스 지원 그리고 우리의 Petaluma, 캘리포니아 및 안시 둘 다, 프랑스 의 DRIE 가공 데몬스트레이션 실험실에서 서비스를 가공하는 pre-와 지점 판매 웨이퍼를 제공하는 우리의 기능에 근거를 둔 Tegal를."
MEMS 기지를 둔 타이밍과 주파수 제어 장치는 수정 결정 진동자에 근거를 둔 높 정밀도 타이밍 시장 지금 봉사한 부산물로 중요한 침해를 만들고 있습니다. 정밀도 시기를 정하는 장치를 위한 중요한 산업과 소비자 응용은 Gps 항법 부대, smartphones 및 그밖 무선 커뮤니케이션 제품, 사진기, 시계 및 휴대용 미디어 플레이어 포함합니다. 실리콘 MEMS 시기를 정하는 장치는, AlN 그 통합 압전 필름을 포함하여 난폭한 응용에 있는, 그리고 그들의 더 값이 싼 때문에 실리콘 MEMS 시기를 정하는 장치의 설명한 ruggedness 결과로, 석영 시기를 정하는 장치를 전치하고 있습니다. Tegal는 타이밍 시장에 기본 연구 목적을 위한, 프로세스와 제품 개발 그리고 대량 생산을 위한 실리콘 DRIE 공구 그리고 AlN PVD 공구를 공급합니다.
Tegal 200 SE 시스템은 Tegal ProNovaTM 유도적으로 결합한 플라스마 식각 반응기 및 자석 플라스마 금고를 특색짓는 고밀도 플라스마 식각 공구입니다. 공구는 Tegal의 특허가 주어진 날가로운 것 - 생산 환경에 있는 100:1 보다는 더 중대한의 식각한 특징 종횡비를 달성하는 최고 높은 종횡비 프로세스를 달릴 수 있습니다. 그것의 높은 신뢰도, 넓은 가공 Windows, 높은 식각은, Tegal 200 SE 시스템입니다 찾아낸 MEMS 의 생물 기술, 광전자 공학 힘 (SE) IC에서 실리콘 필름 식각을 위한 중요한 enabler 평가하고, 및 3D IC 시장과 함께. Tegal DRIE 공구는 수많은 연구와 개발 실험실에서 곧 있어, 세계적으로 채택되고, 또한 세계 MEMS 주조와 그밖 전용 상업적인 높은 볼륨 제조 선에서 상업기도 하고 학문적인 연구 프로그램에서 관여시키.