Tegal Corporation (Nasdaq: TGAL) een vernieuwer van gespecialiseerde productie-oplossingen voor de fabricage van geavanceerde MEMS, macht IC's en opto-elektronische apparaten, heeft vandaag aangekondigd dat een order ontvangen voor een Tegal 200 SE DRIE tool, uitgerust met de Tegal ProNovaTM ICP bron, van een toonaangevende fabrikant van precisie-timing-apparaten. Tegal werd bekroond met de 200 SE DRIE hulpmiddel om na een grondige evaluatie van concurrerende door de klant, die de silicium DRIE tool om MEMS-gebaseerde precisie-timing-apparaten te ontwikkelen.
"Tegal is verheugd om onze Tegal 200 SE DRIE Silicon Etch System geselecteerd door deze belangrijke fabrikant van precisie timing apparaten. Onze klant, met zijn lange gevestigde reputatie voor het produceren van producten van hoge kwaliteit, de Tegal DRIE gereedschap, na een uitgebreide evaluatie van concurrerende koos ", zegt Thomas Mika, President en CEO, Tegal Corporation. "We denken dat dit specifieke order is een sterke bevestiging van de winnende value proposition Tegal brengt aan het silicium DRIE-markt. Onze klant koos voor Tegal op basis van onze superieure silicium DRIE proces prestaties, een onovertroffen after-sales materiaal en het proces te ondersteunen, en op ons vermogen om pre-en post-sale wafer processing services bieden tegen zowel onze Petaluma, CA en Annecy, Frankrijk, DRIE proces demonstratie laboratoria. "
MEMS-gebaseerde timing en frequentie controle-apparaten maken significant doorgedrongen in de hoge-precisie timing markten momenteel bediend door producten op basis van kwarts kristal oscillatoren. Belangrijke industriële en consumenten toepassingen voor precisie-timing-apparaten bevatten Global Positioning System navigatie-eenheden, smartphones en andere draadloze communicatie producten, camera's, horloges en draagbare mediaspelers. Silicium MEMS timing-apparaten, inclusief die met piëzo-elektrische AlN films, zijn het verplaatsen van kwarts timing-apparaten als gevolg van de aangetoonde robuustheid van het silicium MEMS timing-apparaten in ruwe-en-tuimelen toepassingen, en vanwege hun lagere kosten. Tegal levert silicium DRIE gereedschappen en AlN PVD tools om de timing markt voor fundamenteel onderzoek doeleinden, voor proces-en productontwikkeling, en voor massaproductie.
De Tegal 200 SE systeem is high-density plasma-etsen hulpmiddel met de Tegal ProNovaTM inductief gekoppelde plasma-etsen reactor en magnetische plasma-opsluiting. De tool kan draaien gepatenteerde SHARP Tegal's - Super High Aspect Ratio proces, het bereiken van geëtst functie beeldverhoudingen van meer dan 100:1 in productie-omgevingen. Samen met de hoge betrouwbaarheid, breed proces ramen en hoge etch tarieven, de Tegal 200 SE-systeem is een kritische factor voor het etsen van silicium (SE) films gevonden in de MEMS, bio-tech, power IC, opto-elektronische en 3D-IC markten . Tegal DRIE tools zijn die thans werkzaam is in tal van onderzoek en ontwikkeling laboratoria over de hele wereld, die betrokken zijn bij zowel de commerciële en academische onderzoeksprogramma's, en zijn ook gevonden in MEMS gieterijen en andere specifieke commerciële hoog volume productie lijnen wereldwijd.