Tegal Corporaçõ, (Nasdaq: TGAL) inovador de especializado produção solução para fabricação de avançado MEMS, potência CI e dispositivos optoelectronic, anunciou hoje que recebeu um pedido para uma ferramenta do SE DRIE de Tegal 200, equipados com a fonte de Tegal ProNovaTM ICP, de um fabricante principal de dispositivos cronometrando da precisão. Tegal foi concedido 200 o pedido da ferramenta do SE DRIE após uma avaliação competitiva completa pelo cliente, que usará a ferramenta do silicone DRIE para desenvolver dispositivos cronometrando MEMS-baseados da precisão.
“Tegal é satisfeito ter nosso Sistema Gravura Em Àgua Forte do Silicone do SE DRIE de Tegal 200 selecionado por este fabricante importante de dispositivos cronometrando da precisão. Nosso cliente, com sua reputação estabelecido há muito tempo para produzir os produtos de alta qualidade, escolheu a ferramenta de Tegal DRIE após uma avaliação competitiva extensiva,” disse Thomas Mika, Presidente e director geral, Tegal Corporaçõ. “Nós pensamos que este pedido particular é um endosso forte da proposição de vencimento Tegal do valor traz ao mercado do equipamento do silicone DRIE. Nosso cliente escolheu Tegal baseado em nossos desempenho superior do processo do silicone DRIE, apoio superior do equipamento da após-venda e do processo, e em nossa capacidade para fornecer a bolacha pre- e da cargo-venda que processa serviços de nosso Petaluma, de CA e de Annecy, França, laboratórios da demonstração do processo de DRIE.”
os dispositivos MEMS-baseados do sincronismo e de controle da freqüência estão fazendo estradas significativas nos subprodutos actualmente servidos dos mercados do sincronismo da elevada precisão baseados nos osciladores de cristal de quartzo. Os pedidos Importantes industriais e do consumidor para dispositivos cronometrando da precisão incluem unidades da navegação do Sistema de Navegação Mundial, smartphones e outros produtos sem fio de uma comunicação, câmeras, relógios e reprodutores multimedia portáteis. Os dispositivos cronometrando do Silicone MEMS, incluindo aqueles filmes piezoeléctricos de incorporação de AlN, estão deslocando dispositivos cronometrando de quartzo em conseqüência da aspereza demonstrada dos dispositivos cronometrando do silicone MEMS em aplicações da áspero-e-queda, e devido ao seu mais barato. Tegal fornece ferramentas do silicone DRIE e ferramentas de AlN PVD ao mercado do sincronismo para finalidades da investigação básica, para o processo e o desenvolvimento de produtos, e para a produção em massa.
O sistema do SE de Tegal 200 é ferramenta high-density gravura em àgua forte do plasma que caracteriza o reactor indutiva acoplado gravura em àgua forte do plasma de Tegal ProNovaTM e o confinamento magnético do plasma. A ferramenta pode executar o SHARP patenteado de Tegal - Processo Alto Super do Prolongamento, Conseguindo prolongamentos gravados da característica de maior do que o 100:1 em ambientes de produção. Junto com seus confiança alta, indicadores largos do processo, e gravura em àgua forte alta avalia, o sistema do SE de Tegal 200 é um enabler crítico para gravar os filmes (SE) do silicone encontrados no MEMS, Biotech, potência IC, optoelectronic, e mercados 3D-IC. As ferramentas de Tegal DRIE são empregadas presentemente em laboratórios numerosos da investigação e desenvolvimento no mundo inteiro, contratando em programas de investigação comerciais e académicos, e igualmente encontradas nas fundições de MEMS e em outras linhas comerciais dedicadas da fabricação do volume alto mundiais.