Tegal Корпорация, (NASDAQ: TGAL) рационализатор специализировано продукция разрешение для изготовление предварительно MEMS, сила ICs и электронно-оптический приборы, сегодня объявил что она получило заказ для инструмента SE DRIE Tegal 200, оборудованные с источником Tegal ProNovaTM ICP, от ведущего изготовления таймеров точности. Tegal наградило 200 заказ инструмента SE DRIE после тщательной конкурсной оценки клиентом, который будет использовать инструмент кремния DRIE для того чтобы развить MEMS-основанные таймеры точности.
«Tegal довольный для того чтобы иметь нашу Систему Etch Кремния SE DRIE Tegal 200 выбранную этим важным изготовлением таймеров точности. Наш клиент, с своей общепринятый репутацией для производить изделия высокого качества, выбрал инструмент Tegal DRIE после обширной конкурсной оценки,» сказал Томасу Mika, Президенту и генеральному директору, Tegal Корпорации. «Мы думаем что этот определенный заказ сильный жироприказ выигрывая предложения Tegal значения приносит к рынку оборудования кремния DRIE. Наш клиент выбрал Tegal основанное на наших главном проведении процесса кремния DRIE, главной поддержке оборудования после-сбывания и процесса, и на нашей способности обеспечить вафлю pre- и столб-сбывания обрабатывая обслуживания как от нашего Petaluma, CA, так и от Анси, Франция, лабораторий демонстрации DRIE отростчатых.»
MEMS-основанные приборы времени и настройки по частоте делают значительно набеги в высокоточные субпродукты рынков времени в настоящее время, котор служят основанные на осцилляторах кварца кварцевых. Важные применения промышленных и едока для таймеров точности включают блоки навигации Спутниковой Навигационной Системы, smartphones и другие беспроволочные продукты связи, камеры, вахты и портативные медиа-проигрыватели. Таймеры Кремния MEMS, включая те включая пьезоэлектрические фильмы AlN, смещают таймеры кварца в результате продемонстрированной пересеченности таймеров кремния MEMS в применениях груб-и-падения, и из-за их недорогого. Tegal поставляет инструменты кремния DRIE и инструменты AlN PVD к рынку времени для целей фундаментальных исследований, для процесса и совершенствованих продукций, и для массового производства.
Система SE Tegal 200 high-density инструмент etch плазмы отличая реактором etch плазмы Tegal ProNovaTM индуктивно соединенным и магнитным удерживанием плазмы. Инструмент может работать ДИЕЗ Tegal запатентованный - Супер Высокий Процесс Коэффициента Сжатия, достигая вытравленных коэффициентов сжатия характеристики большого чем 100:1 в промышленных средах. Вместе с своими высокой надежностью, обширными отростчатыми окнами, и высокий etch классифицирует, система SE Tegal 200 критический enabler для вытравлять найденные (SE) фильмы кремния в MEMS, био-технике, силе IC, электронно-оптический, и рынками 3D-IC. Инструменты Tegal DRIE в настоящее время использованы в многочисленних лабораториях научных исследований и разработки повсеместно в мир, включающ и в коммерчески и академичных исследовательских программах, и также найдены в плавильнях MEMS и других преданных коммерчески высокообъемных линиях изготавливания всемирных.