Tegal Korporation, (Nasdaq: TGAL) en innovatör av specialiserade produktionlösningar för fabriceringen av avancerad MEMS, driver ICs, och optoelectronic apparater som meddelas i dag det, har mottagit en beställa för en Tegal 200 SE som DRIE bearbetar, utrustat med den Tegal ProNovaTM ICP källan, från en ledande producent av precisiontajmingapparater. Tegal tilldelades SEN 200 som DRIE bearbetar beställer efter en grundlig konkurrenskraftig utvärdering av kunden, som ska bruk, silikonerna DRIE bearbetar för att framkalla MEMS-baserade precisiontajmingapparater.
”Behas Tegal för att ha vår Tegal 200 Silikoner för SE DRIE att Etsa det utvalda Systemet av denna viktiga producent av precisiontajmingapparater. Vårt kund, med dess lång-etablerade anseende för att producera högkvalitativa produkter, valde Tegalen DRIE bearbetar efter en omfattande konkurrenskraftig utvärdering,”, sade Thomas Mika, President och VD, Tegal Korporation. ”Är Vi funderare som denna detalj beställer, ett starkt stöd av segra värderar propositionen Tegal kommer med till utrustningen för silikoner DRIE marknadsför. Vår kund valde Tegal som baserades på vår överlägsna processaa kapacitet för silikoner DRIE, överlägsen efter-Sale utrustning och, bearbetar service, och på vår kapacitet att ge pre- och för posta-Sale rån bearbeta servar från både vår Petaluma, CA, och Annecy, Frankrike, DRIE bearbetar demonstrationslaboratorium.”,
MEMS-baserad tajming och frekvens kontrollerar apparater är danande som viktiga inroads in i denprecision tajmingen marknadsför för närvarande betjänad av - produkter som baseras på crystal oscillatorer för kvartar. Viktiga industriella och konsumentapplikationer för precisiontajmingapparater inkluderar Globala enheter för PositioneringSystemnavigering, smartphones och andra trådlösa kommunikationsprodukter, kameror, klockor och bärbara massmediaspelare. Tajmingapparater för Silikoner som MEMS är inklusive de inkorporerande piezoelectric AlN, filmar, förflyttar kvarttajmingapparater som ett resultat av den visade ojämnheten av tajmingapparaterna för silikoner MEMS i buse-och-fall applikationer, och på grund av deras lägre kosta. Tegal tillförselsilikon DRIE bearbetar, och AlN PVD bearbetar till tajmingen marknadsför för grundforskning ämnar, för processaa och produktutveckling, och för samlas produktionen.
Det Tegal 200 SE-systemet är kick-täthet plasma etsar bearbetar att presentera Tegal ProNovaTM det inductively kopplade ihop plasmaet etsar reaktorn och magnetisk plasmafångenskap. Bearbeta kan köra Tegals patenterade KOR - Toppna det Processaa KickAspektFörhållandet och att uppnå etsade särdragaspektförhållanden av mer stor än 100:1 i produktionmiljöer. Samman med dess kickpålitlighet driver breda processaa fönster, och kicken etsar klassar, det Tegal 200 SE-systemet är en kritisk enabler för att etsa (SE) silikoner filmar funnit i MEMSEN, bio-tech, IC som är optoelectronic, och 3D-IC marknadsför. Tegal DRIE bearbetar används just nu i laboratoriumalltigenom för talrik forskning och utvecklingsvärlden och att koppla in i både reklamfilm och akademiska forskningprogram och finnas också i MEMS-gjuterier, och annan hängiven fabriks- reklamfilmkickvolym fodrar värld-sned boll.