Tegal Corporation， (那斯达克：TGAL) 创新者专门化生产解决方法为制造先进 MEMS，功率集成电路和光电子设备，今天宣布它收到了 Tegal 200 SE DRIE 工具的一份订单，装备用 Tegal ProNovaTM ICP 来源，从精确度定时器一个主导的制造商。 Tegal 在一个详尽的竞争评估以后被授予了 200 个 SE DRIE 工具等级由客户，将使用硅 DRIE 工具发展基于 MEMS 的精确度定时器。
“Tegal 高兴地有精确度定时器此重要制造商选择的我们的 Tegal 200 SE DRIE 硅铭刻系统。 我们客户，与其长期建立的名誉在生产上优质产品，在一个广泛的竞争评估以后选择了 Tegal DRIE 工具”， Thomas Mika， President 说 CEO， Tegal Corporation。 “我们认为此特殊顺序是赢取的值提议 Tegal 的一本严格的背书给硅 DRIE 设备市场带来。 我们的客户选择了在我们的能力的我们的优越硅 DRIE 进程性能，优越售后设备和进程技术支持和 Tegal 提供处理从我们的 Petaluma、加州和阿讷西，法国， DRIE 处理演示实验室的前和售后薄酥饼基础上服务”。
基于 MEMS 的规定期限和频率控制设备做重大的突袭成在石英晶体振荡器基础上的高精密度的规定期限市场当前服务的副产品。 对精确度定时器的重要行业和消费者申请包括全球定位系统定位部件、智能手机和其他无线通信产品、照相机、手表和可携式媒体播放器。 由于硅 MEMS 定时器的被展示的险峻在莽撞的应用和由于他们更加低价，硅 MEMS 定时器，包括那些合并的压电 AlN 影片，偏移石英定时器。 Tegal 提供硅 DRIE 工具和 AlN PVD 工具给规定期限市场为基础研究目的，为进程和产品开发和为大量生产。
Tegal 200 SE 系统是以 Tegal ProNovaTM 引人地耦合的等离子铭刻反应器和磁性等离子分娩为特色的高密度等离子铭刻工具。 工具在生产环境里比 100:1 可能运行 Tegal 的给予专利的锐利 - 超级高长宽比进程，达到被铭刻的功能长宽比极大。 与其高信度、清楚的处理视窗，并且高铭刻对估计， Tegal 200 SE 系统是铭刻的被找到的硅影片一个 (SE)重要支持因素在 MEMS，生物科技，功率集成电路，光电子和 3D 集成电路市场一起。 Tegal DRIE 工具在许多研究与开发实验室在 MEMS 的铸造厂和全世界其他专用的商业大容积制造的线路在世界各地目前被使用，参与商业和学术研究方案和也被找到。