Picosun는 소설 봉인된 전구체 카트리지를 소개합니다

Published on January 29, 2010 at 1:28 AM

Picosun 오이 의 핀란드 기반의 글로벌 제조 업체의 최첨단 오늘날 전구체 처리를 혁신하고 크게 ALD 시스템의 운영 비용을 절감하는 소설 봉인 전구체 카트리지를 도입 원자층 증착 (ALD) 시스템.

새로운 밀봉된 카트리지 Picosolid 부스터의 이미 비교할 수없는 품질로 추가합니다. 또한 아직 다시 ALD 시스템의 Picosun의 SUNALE 가족의 모듈형 확장 최종 디자인이 얼마나 독특한 밑줄 :이 새로운 기능은 어떠한 Picosolid 부스터를 갖춘 기존의 모든 SUNALE 원자로의 구조에 완벽하게 맞는 데요.

"우리의 새로운 봉인 카트리지가 열려 그 뚜껑이있는 글러브 박스를 떠날 필요가 절대 없으며, 그것은 ALD 장치에서 제거하면 열 필요가"Juhana Kostamo, Picosun의 전무 이사는 설명합니다. "산소 및 / 또는 습기에 노출하고 부패한 엽 성의 전구 물질을 수행합니다. 우리의 새 카트리지는 같은 전구체를 보호뿐만 아니라, 보장하지 않는 수있는 요소를 전구체 화학 물질의 불필요한 노출을 통해 긴 테스트 시리즈의 결과를 손상 확률 공기의 진정 마침내는 과거의 일이된다. "

그것이 더 이상 ALD 공정에서 제대로 증발하지 않도록 공기에 노출의 자질을 변경하여 쓸모없는 전구체를 바꿀 수있는 잘 알려진 사실이다. 새로운 금속 - 유기 엽 성의 전구 물질 특히 많이도 소량에서 많은 돈을 가치가 있습니다. Picosun의 새로운 봉인 카트리지는 귀중한 엽 성의 전구 물질이 카트리지 처리에 무심코 사고로 인해 더 이상 낭비되지 보장합니다.

소설 카트리지 및 소스 건설 엽 성의 전구 물질로 인해 명확하게 열 민감한 화학 물질의 유용한 수명을 연장 최소 소스 온도에서 증발 수 있습니다.

Picosun는 이미 전에 작고, 쉽게 변화 카트리지의 개념을 도입하였습니다. 이 개념은 끝없이 하나에서 다른 화학 물질을 변경하기 전에 전구체 소스를 청소 모두 피곤에 의해 환영되었다. Picosun의 개념은 또한 ALD 도구들의 시간 슬롯을 사용하여 줄을 서서 과학자 꿈이 실현된 왔습니다.

아무 문제없이, 각종 화학 물질과 함께 Picosun의 새로운 봉인 카트리지는 모두 어느 화학 물질 중 어느이나 글로브 박스 자체에 오염의 위험이있는 글러브 박스에서 선반에 저장할 수 있습니다.

먼저 Picosun 고객은 이미 밀봉된 카트리지를 받았습니다.

Picosun은 마이크로 및 나노기술 응용 프로그램에 대한 원자 층 증착 (ALD) 원자로 개발 및 제조하고 있습니다. Picosun는 핀란드 ALD 반응기 제조 30 년 이상에 연속성을 나타냅니다. Picosun는 에스포, 핀란드에 본사를 둔 디트로이트, 미시간에있는 자사의 미국 본사를 가지고있다. SUNALE ALD 공정 도구는 유럽, 미국 및 아시아에 걸쳐 다양한 대학, 연구 기관 및 기업에 설치됩니다.

박사 Tuomo Suntola, ALD 기술의 발명가, Picosun의 이사회의 멤버입니다. 세계에서 가장 경험이 풍부한 ALD 반응기 디자이너 스벤 Lindfors은 Picosun의 최고 기술 책임자 및 회사의 설립자입니다. Picosun 오이 스티븐 산업의 한 부분이다.

Last Update: 25. October 2011 11:33

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