Novellus Versendet 1000. VEKTOR PECVD Anlage zu GLOBALFOUNDRIES

Published on February 1, 2010 at 6:21 PM

Novellus-Anlagen (NASDAQ: NVLS) kündigte heute an, dass es die Plasma-erhöhte chemische Bedampfenanlage der Firma 1000. VEKTOR bis (PECVD) Tolle 7 GLOBALFOUNDRIES in Singapur versendet hat.

Ein führender Anbieter der hoch entwickelten Halbleiterfertigungstechnik, GLOBALFOUNDRIES integrierte vor kurzem die Operationen der Chartered Halbleiter-Herstellung und wird den Meilenstein 300mm VEKTOR Express™ für Großserienherstellung am Knotenpunkt der Technologie 65nm und jenseits in Tollen 7. verwenden.

Ursprünglich eingeführt im Juli von 2000, ist die VEKTOR-Anlage ein Herstellungsarbeitspferd, der verwendet wird, um eine große Auswahl von dielektrischen Anwendungen abzugeben. Im Vorder-Ende-vonLine (FEOL) wird VEKTOR verwendet, um Tordistanzstücke abzugeben und Zwischenlagen, hohe Druckfilme für belastendes Silikon, formloser Kohlenstoff und anti-reflektierende Schichten, harte Maskenfilme und Ätzung stoppen Schichten. Zurück-Ende-von-Line (BEOL)anwendungen umfassen Intermetall- und Zwischenlagendielektrika, kupferne Diffusionsbarrierefolien, niedrige mit einer Kappe bedeckende Schichten der Dielektrizitätskonstante und abschließende Passivierungsschichten. Vor Kurzem wird VEKTOR für auftauchende dielektrische Anwendungen, wie ultra-niedrige Film- und Nichtleiterschichten der Dielektrizitätskonstante (ULK) eingesetzt, die herein durch-Silikon-über Verpackungstechnik (TSV) verwendet werden.

Die starke Abnahme des VEKTORS im Halbleiterherstellungsmarkt ist ein Ergebnis des hohen der Kapitalproduktivität Produktes, des niedrigen Einbaus und der Betriebskosten, Kleinsystemabdruck, hohe Wafer-zuWafer Wiederholbarkeit und, einstellige Defektleistung in den sub-100 nm Teilchengrößen.

„Die Novellus-VEKTOR-Plattform wird in der Großserienproduktion an 65nm verwendet und in den hoch entwickelten Knotenpunkten der Technologie 45/40nm in Tollen 7 für dielektrische Anwendungen FEOL und BEOL,“ sagte Peter Benyon, Kopf von Tollen 7 Operationen an GLOBALFOUNDRIES. „Wir freuen uns, unsere Partnerschaft mit Novellus beim sich Entwickeln kosteneffektiv, hoch entwickelte technologische Lösungen fortzusetzen, um unseren Abnehmern schnell, zu helfen ihre innovativen Auslegungen zu holen, um zu vermarkten.“

„Wir sind sehr erfreut, diesen Meilensteinversand mit der Abnahme der Firma unseres 1000. Hilfsmittels zu gedenken, da Gechartert, werden ein Teil des neuen GLOBALFOUNDRIES,“ sagte Kevin Jennings, Senior-Vizepräsident Novellus der PECVD-Unternehmenseinheit. „Chartered kaufte seine erste VEKTOR-Anlage im Jahre 2004 und war lang ein Großkunde von Novellus gewesen. Wir hoffen, eine enge Beziehung mit GLOBALFOUNDRIES gleichmäßig zu entwickeln.“

Novellus Systems, Inc. (Nasdaq: NVLS) ist ein führender Anbieter der hoch entwickelten Prozessausrüstung für die globale Halbleiterindustrie. Die Produkte der Firma entbinden Wert an Abnehmer, indem sie die innovative Technologie zur Verfügung stellen, die durch verlässliche Produktivität gegengezeichnet wird. Firma S&P 500, Novellus wird in San Jose, Calif gehabt. mit Tochterbüros über der Kugel.

Last Update: 13. January 2012 07:02

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit