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Novellus Spedisce il 1000th Sistema di VETTORE PECVD a GLOBALFOUNDRIES

Published on February 1, 2010 at 6:21 PM

Sistemi di Novellus (NASDAQ: NVLS) oggi ha annunciato che ha spedito il sistema chimico dell'applicazione a spruzzo plasma-migliorato 1000th VETTORE (PECVD) della società ai 7 Favolosi di GLOBALFOUNDRIES a Singapore.

Un fornitore principale della tecnologia di fabbricazione avanzata a semiconduttore, GLOBALFOUNDRIES recentemente ha integrato i funzionamenti di Fabbricazione A Semiconduttore Chartered ed utilizzerà il VETTORE Express™ della pietra miliare 300mm per fabbricazione in grande quantità al vertice della tecnologia 65nm e di là in 7. Favolosi.

Originalmente presentato a luglio di 2000, il sistema di VETTORE è un cavallo di lavoro di fabbricazione usato per depositare una vasta gamma di applicazioni dielettriche. Nel fronte-estremità-de-line (FEOL), il VETTORE è usato per depositare i distanziatori del portone ed i rivestimenti interni, le alte pellicole di sforzo per la tensione del silicio, il carbonio amorfo ed i livelli anti-riflettenti, le pellicole dure della maschera ed incissione all'acquaforte fermano i livelli. le applicazioni (BEOL) del Retro-estremità-de-Line comprendono i dielettrici dello strato intermedio e del inter metallo, le pellicole di rame della barriera di diffusione, i livelli di coperchiamento bassi di costante dielettrica ed i livelli definitivi di passività. Recentemente, il VETTORE sta impiegando per le applicazioni dielettriche emergenti, quali le pellicole ultra-basse di costante dielettrica (ULK) ed i livelli dielettrici utilizzati dentro attraverso-silicio-via (TSV) tecnologia d'imballaggio.

La forte accettazione del VETTORE nel servizio di fabbricazione a semiconduttore è un risultato di alta produttività del capitale del prodotto, dell'impianto basso e dei costi di gestione, l'orma del piccolo sistema, alta ripetibilità del wafer--wafer e, la singola prestazione di difetto della cifra nelle dimensioni delle particelle di sub-100 nanometro.

“La piattaforma di VETTORE di Novellus è utilizzata nella produzione in grande quantità a 65nm e nei vertici avanzati di tecnologia 45/40nm in 7 Favolosi per sia le applicazioni dielettriche di BEOL che di FEOL,„ ha detto Peter Benyon, testa delle 7 operazioni Favolose a GLOBALFOUNDRIES. “Aspettiamo con impazienza di continuare la nostra associazione con Novellus nello sviluppo redditizio, soluzioni tecnologiche avanzate per aiutare rapido i nostri clienti a portare le loro progettazioni innovarici per commercializzare.„

“Siamo molto piacevoli commemorare questa spedizione della pietra miliare con l'accettazione della società del nostro 1000th strumento, poichè Conceduto ci trasformiamo in in una parte di nuovo GLOBALFOUNDRIES,„ ha detto Kevin Jennings, vice presidente senior della divisione di affari del PECVD di Novellus. “Chartered ha approvvigionato il suo primo sistema di VETTORE nel 2004 e lungamente era stata un cliente importante di Novellus. Speriamo di sviluppare ugualmente uno stretto rapporto con GLOBALFOUNDRIES.„

Novellus Systems, Inc. (Nasdaq: NVLS) è un fornitore principale di strumentazione trattata avanzata per l'industria globale a semiconduttore. I prodotti della società consegnano il valore ai clienti fornendo la tecnologia innovatrice di appoggio da produttività di fiducia. Una società di S&P 500, Novellus è acquartierata in San José, California con gli uffici sussidari attraverso il globo.

Last Update: 13. January 2012 06:24

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