Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

Novellus Schepen 1000e VECTOR PECVD System GLOBALFOUNDRIES

Published on February 1, 2010 at 6:21 PM

Novellus Systems (NASDAQ: NVLS) heeft vandaag aangekondigd dat het de onderneming 1000e VECTOR plasma-geassisteerde chemical vapor deposition (PECVD) systeem verzonden naar GLOBALFOUNDRIES 'Fab 7 in Singapore.

Een toonaangevende leverancier van geavanceerde technologie productie van halfgeleiders, GLOBALFOUNDRIES onlangs geïntegreerd de activiteiten van Chartered Semiconductor Manufacturing, en zal de mijlpaal 300mm VECTOR Express ™ voor hoog-volume productie gebruik bij de 65nm-technologie node en daarbuiten in Fab 7.

Oorspronkelijk geïntroduceerd in juli 2000 heeft de VECTOR-systeem is een productie werkpaard gebruikt om een ​​brede waaier van toepassingen diëlektrische storting. In de front-end-of-line (FEOL), wordt gebruikt om de VECTOR gate spacers en liners, hoge stress films te deponeren voor het uitpersen van silicium, amorf koolstof en anti-reflecterende laag, hard masker films en etsen te stoppen lagen. Back-end-of-line (BEOL) toepassingen zijn onder meer inter-metal en inter-layer diëlektrica, koper diffusiebarrière films, lage diëlektrische constante aftopping lagen, en de uiteindelijke passiveren lagen. Onlangs is VECTOR wordt ingezet voor opkomende diëlektrische toepassingen, zoals ultra-lage diëlektrische constante (ULK) films en diëlektrische lagen worden gebruikt in de door-silicium-via (TSV) verpakking technologie.

Sterke acceptatie VECTOR in de productie van halfgeleiders markt is een gevolg van de hoge van het product hoofdstad productiviteit, lage installatie-en operationele kosten, klein systeem footprint, high wafer-to-wafer herhaalbaarheid en, single digit defect prestaties in de sub-100 nm deeltjesgrootte.

"De Novellus VECTOR-platform wordt gebruikt in high-volume productie op 65nm en in de geavanceerde 45/40nm technologie knooppunten in Fab 7 voor zowel FEOL en BEOL diëlektrische applicaties", zegt Peter Benyon, hoofd van de Fab 7 activiteiten op GLOBALFOUNDRIES. "We kijken uit naar voortzetting van onze samenwerking met Novellus in het ontwikkelen van kosteneffectieve, geavanceerde technologische oplossingen om klanten te helpen snel hun innovatieve ontwerpen de markt te brengen."

"We zijn erg blij met deze mijlpaal herdenken zending met aanvaarding van het bedrijf van onze 1000e tool, als Chartered wordt een deel van de nieuwe GLOBALFOUNDRIES", zegt Kevin Jennings, senior vice president van PECVD business unit Novellus '. "Chartered kocht haar eerste VECTOR-systeem in 2004, en had lange tijd een belangrijke klant van Novellus. We hopen een even hechte band met GLOBALFOUNDRIES ontwikkelen."

Novellus Systems, Inc (Nasdaq: NVLS) is een toonaangevende leverancier van geavanceerde procesapparatuur voor de wereldwijde halfgeleiderindustrie. Producten van het bedrijf leveren toegevoegde waarde aan klanten door middel van innovatieve technologie die wordt ondersteund door vertrouwde productiviteit. Een S & P 500-onderneming, is Novellus hoofdkantoor in San Jose, Californië met dochterondernemingen kantoren over de hele wereld.

Last Update: 3. October 2011 04:24

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit