Novellus Envia o 1000th Sistema do VECTOR PECVD a GLOBALFOUNDRIES

Published on February 1, 2010 at 6:21 PM

Sistemas de Novellus (NASDAQ: NVLS) anunciou hoje que enviou o sistema plasma-aumentado 1000th VECTOR do depósito de vapor químico (PECVD) da empresa aos 7 Fabulosos de GLOBALFOUNDRIES em Singapura.

Um fornecedor principal da tecnologia de fabricação avançada do semicondutor, GLOBALFOUNDRIES integrou recentemente as operações da Fabricação do Semicondutor Chartered, e usará o VECTOR Express™ do marco miliário 300mm para a fabricação do volume alto no nó da tecnologia 65nm e além em 7. Fabulosos.

Introduzido Originalmente em julho de 2000, o sistema do VECTOR é um laborioso da fabricação usado para depositar uma vasta gama de aplicações dieléctricas. Na dianteiro-fim--linha (FEOL), o VECTOR é usado para depositar espaçadores da porta e os forros, os filmes altos do esforço para esticar o silicone, o carbono amorfo e as camadas anti-reflexivas, os filmes duros da máscara e gravura em àgua forte param camadas. a Para trás-fim--Linha (BEOL) aplicações inclui dieléctricos do inter-metal e da inter-camada, os filmes de cobre da barreira de difusão, baixas camadas tampando da constante dieléctrica, e camadas finais do passivation. Recentemente, o VECTOR está sendo empregado para aplicações dieléctricas emergentes, tais como as ultra-baixas camadas dos filmes e do dielétrico da constante dieléctrica (ULK) usadas dentro através-silicone-através (TSV) da tecnologia de empacotamento.

A aceitação forte do VECTOR no mercado da fabricação do semicondutor é um resultado da produtividade de capital alta do produto, da baixa instalação e dos custos de operação, pegada do sistema pequeno, repetibilidade alta da bolacha-à-bolacha e, desempenho de um único dígito do defeito nas dimensão das partículas de sub-100 nanômetro.

“A plataforma do VECTOR de Novellus é usada na produção do volume alto em 65nm e nos nós avançados da tecnologia 45/40nm em 7 Fabulosos para aplicações dieléctricas de FEOL e de BEOL,” disse Peter Benyon, cabeça de 7 operações Fabulosos em GLOBALFOUNDRIES. “Nós olhamos para a frente a continuar nossa parceria com o Novellus em tornar-se eficaz na redução de custos, soluções tecnologicos avançadas para ajudar ràpida nossos clientes a trazer seus projectos inovativos para introduzir no mercado.”

“Nós somos muito satisfeitos comemorar esta expedição do marco miliário com a aceitação da empresa de nossa 1000th ferramenta, porque Fretado transformamo-nos uma parte do GLOBALFOUNDRIES novo,” disse Kevin Jennings, vice-presidente superior da unidade de negócios do PECVD de Novellus. “Chartered comprou seu primeiro sistema do VECTOR em 2004, e tinha sido por muito tempo um cliente importante de Novellus. Nós esperamos desenvolver ingualmente uma relação estreita com GLOBALFOUNDRIES.”

Novellus Sistemas, Inc. (Nasdaq: NVLS) é um fornecedor principal de equipamento de processo avançado para a indústria global do semicondutor. Os produtos da empresa entregam o valor aos clientes fornecendo a tecnologia inovativa suportada pela produtividade confiada. Uma empresa de S&P 500, Novellus é sediada em San Jose, Califórnia com os escritórios subsidiários através do globo.

Last Update: 13. January 2012 05:13

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