Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Novellus Грузит 1000th Систему ВЕКТОРА PECVD к GLOBALFOUNDRIES

Published on February 1, 2010 at 6:21 PM

Системы Novellus (NASDAQ: NVLS) сегодня объявило что оно грузило систему низложения химического пара компании 1000th плазм-увеличенную (PECVD) ВЕКТОРОМ до 7 GLOBALFOUNDRIES Сказочные в Сингапуре.

Ведущий провайдер предварительной технологии изготавливания полупроводника, GLOBALFOUNDRIES недавно интегрировал деятельности Изготавливания Полупроводника Chartered, и будет использовать ВЕКТОР Express™ основного этапа работ 300mm для высокообъемного изготавливания на узле технологии 65nm и за пределами в Сказочные 7.

Первоначально введено в Июль 2000, система ВЕКТОРА ломовая лошадь изготавливания используемая для того чтобы депозировать широкий диапазон диэлектрических применений. В передн-конц--линии (FEOL), ВЕКТОР использован для того чтобы депозировать прокладки строба и вкладыши, высокие фильмы усилия для напрягать кремний, аморфный углерод и анти--отражательные слои, трудные фильмы маски и etch останавливают слои. Назад-конц--Линия (BEOL) применения включает dielectrics взаимо--металла и прослойка, медные фильмы границы диффузии, низкие слои диэлектрической константы покрывая, и окончательные слои запассивированности. Недавно, ВЕКТОР используется для вытекая диэлектрических применений, как ультра-низкие фильмы и слои диэлектрика диэлектрической константы (ULK) используемые внутри через-кремни-через (TSV) упаковывая технологию.

Принятие ВЕКТОРА сильное в рынке изготавливания полупроводника результат урожайности продукта высокой прописной, низкой установки и производственных затрат, следа ноги малой системы, высокой повторимости вафл-к-вафли и, одиночное представление дефекта числа в размерах частицы sub-100 nm.

«Платформа ВЕКТОРА Novellus использована в высокообъемной продукции на 65nm и в предварительных узлах технологии 45/40nm в Сказочные 7 и для применений FEOL и BEOL диэлектрических,» сказал Питер Benyon, головку Сказочных 7 деятельностей на GLOBALFOUNDRIES. «Мы смотрим вперед к продолжать наше партнерство с Novellus в превращаться рентабельный, предварительные технологические разрешения для того чтобы помочь нашим клиентам быстро принести их новаторские конструкции для того чтобы выйти на рынок.»

«Мы очень довольный для того чтобы чествовать эту пересылку основного этапа работ с принятием компании нашего 1000th инструмента, по мере того как Фрахтовано будем частью нового GLOBALFOUNDRIES,» сказал Кевина Jennings, старший вице-президент организационной единицы PECVD Novellus. «Chartered закупило свою первую систему ВЕКТОРА в 2004, и длиной был важным клиентом Novellus. Мы надеемся начать поровну близкие отношения с GLOBALFOUNDRIES.»

Novellus Системы, Inc. (NASDAQ: NVLS) ведущий провайдер предварительного технологического оборудования для глобальной индустрии полупроводника. Продукты компании поставляют значение к клиентам путем обеспечивать новаторскую технологию подпертую доверенной урожайностью. Компания S&P 500, Novellus размещана штаб в Сан-Хосе, CALIF. с дополнитеельными офисами через глобус.

Last Update: 13. January 2012 07:18

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit