Novellus Sänder det 1000. Systemet för VEKTORN PECVD till GLOBALFOUNDRIES

Published on February 1, 2010 at 6:21 PM

Novellus System (NASDAQ: NVLS) meddelade i dag att den har sänt företagets den 1000. VEKTORN plasma-förhöjda kemiska systemet för dunst (PECVD)avlagring till GLOBALFOUNDRIESS Fab 7 i Singapore.

En ledande familjeförsörjare av fabriks- teknologi för den avancerade halvledaren, GLOBALFOUNDRIES integrerade för en tid sedan de Fabriks- funktionerna av den Chartrade Halvledaren och ska bruk VEKTORN Express™ för milstolpe 300mm för kick-volym som var fabriks- på knutpunkten och det okända för teknologi 65nm i Fab 7.

Ursprungligen introducerat i Juli av 2000, är VEKTORsystemet en van vid insättning för fabriks- workhorse per lång räcka av dielectric applikationer. I bekläda-avsluta-av-fodra (FEOL) är VEKTORN den van vid insättningen utfärda utegångsförbud för avståndsmätare och eyeliner, filmar maskerar kickspänningen för att anstränga silikoner, amorphous kol och anti-reflekterande lagrar, hårt filmar och etsar stopplagrar. Baksida-avsluta-av-Fodra (BEOL) applikationer inkluderar inter-belägger med metall, och inter-lagrar dielectrics, förkopprar diffusionsbarriären filmar, capping lagrar för den låga dielectric konstanten och finalpassivationlagrar. För en tid sedan används VEKTORN för att dyka upp dielectric applikationer, liksom denlåga dielectric konstanten (ULK) filmar och dielectriclagrar som in används till och med-silikon-via (TSV) att paketera teknologi.

Vektor marknadsför starka godtagande i den fabriks- halvledaren är ett resultat av produktens produktiviteten för kickhuvudstad, kostar låg installation och att fungera, fotspåret för det små systemet, kickrån-till-rån repeatability, och, hoppar av singelsiffran kapacitet i partikeln för sub-100 nm storleksanpassar.

”Används den Novellus VEKTORplattformen i kick-volym produktion på 65nm, och i de avancerade knutpunkterna för teknologi 45/40nm i Fab 7 för både dielectric applikationer för FEOL och för BEOL,”, sade Peter Benyon, huvudet av Fab 7 funktioner på GLOBALFOUNDRIES. ”Ser Vi framåtriktat till att fortsätta vårt partnerskap med Novellus, i kosta-effektiv framkallning, avancerade teknologiska lösningar för att hjälpa våra kunder snabbt att komma med deras innovativa designer för att marknadsföra.”,

”Är Vi mycket nöjda att fira minnet av denna milstolpesändning med företagets godtagande av vår 1000. bearbetar, som Auktoriserad revisor blir en del av den nya GLOBALFOUNDRIESEN,”, sade Kevin Jennings, vice verkställande direktör av Novelluss enheten för PECVD-affären. ”Inhandlade hade long varit Auktoriserad revisor dess första VEKTORsystem i 2004 och long en viktig kund av Novellus. Vi hoppas för att framkalla ett lika nära förhållande med GLOBALFOUNDRIES.”,

Novellus System, Inc. (Nasdaq: NVLS) är en ledande familjeförsörjare av avancerad processaa utrustning för den globala halvledarebranschen. Företagets produkter levererar värderar till kunder, genom att ge innovativ teknologi som dras tillbaka av betrodd produktivitet. Ett företag för S&P 500, Novellus förläggas högkvarter i San Jose, Calif. med biträdande kontor över jordklotet.

Last Update: 25. January 2012 18:01

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit