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Novellus 发运 1000th 向量 PECVD 系统对 GLOBALFOUNDRIES

Published on February 1, 2010 at 6:21 PM

Novellus 系统 (那斯达克: NVLS) 今天宣布它发运了公司的 1000th 向量等离子改进的化学气相沉积 (PECVD)系统到 GLOBALFOUNDRIES 的很好 7 在新加坡。

先进的半导体制造技术, GLOBALFOUNDRIES 一位主导的提供者最近集成 Chartered 半导体制造的运算和为大容积制造使用重要事件 300mm 向量 Express™在 65nm 技术节点和以远在很好 7。

最初介绍在 7月 2000年,向量系统是用于的制造耕马存款各种各样的电介质应用。 在前结束线路 (FEOL),向量用于存款门间隔号,并且划线员、高重点影片费劲的硅的,无定形的碳和反反射性层、困难屏蔽影片和铭刻终止层。 后面结束线路 (BEOL)应用包括相互金属和夹层电介质、铜扩散势垒区影片、低介电常数加盖的层和最终钝化层。 最近,向量为涌现的电介质应用被使用,例如通过硅通过包装技术的用于极端底的介电常数 (ULK) 影片和 (TSV)电介质层。

向量的严格的接受在半导体制造市场上是产品的高资本生产力、低安装和运作成本,小型系统脚印,高薄酥饼对薄酥饼反复性的结果和,在子100 nm 微粒大小的单数位缺陷性能。

“Novellus 向量平台用于大容积生产在 65nm,并且在很好 7 的先进的 45/40nm 技术节点 FEOL 和 BEOL 电介质应用的”,彼得 Benyon,在 GLOBALFOUNDRIES 的很好的 7 运算经理说。 “我们盼望继续我们的与 Novellus 的合伙企业在开发有效,先进的技术解决方法迅速地帮助我们的客户带来他们的创新设计销售”。

“我们是非常喜悦纪念与我们的 1000th 工具公司的接受的此重要事件发运,因为特许成为新的 GLOBALFOUNDRIES 的部分”,资深副总裁说凯文 Jennings, Novellus 的 PECVD 营业单位的。 “Chartered 在 2004年采购了其第一个向量系统和长期是 Novellus 的一个重要客户。 我们希望发展与 GLOBALFOUNDRIES 的相等地密切的关系”。

Novellus Systems, Inc. (那斯达克: NVLS) 是先进的处理设备一位主导的提供者全球半导体行业的。 公司的产品提供值到客户通过提供委托的生产率返回的创新技术。 S&P 500 公司, Novellus 在圣荷西,有辅助办公室的加利福尼亚总部设在这个地球间。

Last Update: 13. January 2012 02:43

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