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Seguro y Asequible Dispositivos del Diseño y Sensores Micros Fuera del Diamante

Published on February 3, 2010 at 6:09 PM

Las Tecnologías Avanzadas del Diamante (ADT) están haciendo ampliamente disponible una receta del grabado de pistas que active representantes técnicos y los reveladores del producto a seguro y asequible los dispositivos del diseño y los sensores micros fuera de diamante.

De Acuerdo con la investigación publicada en Noviembre la aplicación de Diciembre de 2009 el Gorrón par-revisado de la Ciencia y de la Tecnología B del Vacío (JVST B), la receta del grabado de pistas está disponibles para la transferencia directa del Web site de ADT en http://www.thindiamond.com. Usando los procesos estándar disponibles en la mayoría de las fundiciones, esta receta seca del grabado de pistas permite a proyectistas desarrollar los dispositivos micros y los sensores del diamante punta mientras que elimina la complejidad asociada tradicionalmente al diamante.

“El proceso para hacer el diamante disponible, accesible, y asequible es completo. Hemos publicado esta receta así que el diamante se puede incorporar en flujos de proceso usando el mismo equipo y materiales usados para tramitar el silicio. Hemos eliminado riesgo-y misterio-de cómo hacer los dispositivos y nos del diamante espere estimular la creatividad y la ingeniosidad de proyectistas para hacer los dispositivos del diamante sin hacer que se preocupen de fases de tratamiento,” dijo al presidente de ADT, Neil Kane.

El artículo, la “Nanofabricación de las Puntas Sostenidas del Diamante por Litografía del E-Haz y la Aguafuerte de Ión Reactiva Inductivo Acoplada del Plasma,” describe la receta del grabado de pistas desarrollada mientras que crea el diamante sostenido inclina para las antenas atómicas de la microscopia (AFM) de la fuerza. La receta seca del grabado de pistas fue optimizada para lograr un índice máximo del grabado de pistas de 650 nm/min usando los Fulminantes del UNCD® de ADT. Los Parámetros para lograr tipos más lentos del grabado de pistas también se contornean que sean aplicables para desarrollar las nano-estructuras delicadas. Los pasos de progresión De Proceso para crear y modelar la máscara dura, 350 capas depositadas vapor químico densamente plasma-aumentadas del nanómetro SiOx, también se detallan.

“Tenemos clientes que usan nuestros Fulminantes de UNCD para hacer productos del diamante tan diversos como el AFM sonda, cambiamos para el radar de la organizar-matriz, biosensores para detectar Escherichia Coli en agua, el alumbrado del LED, y electrodos boro-dopados del diamante para la purificación del agua. Una receta simple, optimizada del grabado de pistas hace la adopción de diamante muy directa,” dice al principal Dr. Juan Carlisle del oficial técnico de ADT. “Una generación entera de 2.a y las estructuras del diamante 3D son concebibles ahora por ejemplo los dispositivos del RF MEMS del alto rendimiento y los acelerómetros,” dijo el científico y al autor importante del artículo de JVST B, el Dr. Nicolaie Moldovan del terminal de componente del MEMS de ADT.

El revelado de una capacidad seca optimizada del grabado de pistas es parte de la investigación en curso de ADT para avance sus 2009 R&D100 NaDiaProbes® Premiado, las primeras antenas del AFM del todo-diamante del mundo, que se crean usando los Fulminantes de UNCD como materia prima. NaDiaProbes no es antenas o pedazos diamante-revestidos de diamante montados en los voladizos; hacen el ensamblaje bastante voladizo y de la punta entero de UNCD, un formulario de la fino-película del diamante del nanocrystalline.

ADT agradecido reconoce su colaboración que continúa con el Laboratorio Nacional de Argonne (Argonne) que es co-autor del artículo de JVST B. NaDiaProbes fue desarrollado con una concesión del programa del SBIR/STTR del National Science Foundation.

Formado para comercializar la tecnología del diamante del ultrananocrystalline desarrollada en Argonne, ADT es el titular de una licencia exclusivo a su cartera de las patentes del diamante. ADT es una Tecnología 2007 Pionera, beneficiario del Foro Económico de Mundo de una Recompensa 2008 de EuroAsia IC en los Materiales Activando la categoría del alimentador del Semiconductor de EuroAsia, ganador 2008 de la Recompensa del R&D 100 para las superficies de los sellos mecánicos para las bombas flúidas, y un R&D 2009 100 Concede al ganador para NaDiaProbes.

Last Update: 13. January 2012 05:18

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