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Sûrement et Abordable Dispositifs de Design et Senseurs Micro Hors de Diamant

Published on February 3, 2010 at 6:09 PM

Les Technologies Avancées de Diamant (ADT) effectue grand disponible une recette gravure à l'eau forte qui active des ingénieurs et des révélateurs de produit à sûrement et abordable les dispositifs de design et les senseurs micro hors du diamant.

Basé sur la recherche publiée dans Novembre l'édition En décembre 2009 du Tourillon pair-révisé de la Science et de la Technologie B d'Aspirateur (JVST B), la recette gravure à l'eau forte est disponible pour le téléchargement du site Web d'ADT chez http://www.thindiamond.com. Utilisant des procédés normaux disponibles dans la plupart des fonderies, cette recette sèche gravure à l'eau forte permet à des créateurs de développer les dispositifs micro et les senseurs de diamant tranchant tout en éliminant la complexité traditionnellement associée avec le diamant.

« Le procédé pour rendre le diamant disponible, accessible, et abordable est complet. Nous avons publié cette recette ainsi le diamant peut être comporté aux flux de processus utilisant le mêmes matériel et matières employés pour traiter le silicium. Nous avons éliminé risque-et mystère-de la façon effectuer des dispositifs et nous de diamant espérez stimuler la créativité et l'ingéniosité des créateurs pour effectuer des dispositifs de diamant sans les faire s'inquiéter des étapes de traitement, » a dit président d'ADT, Neil Kane.

L'article, la « Nanofabrication des Extrémités Tranchantes de Diamant par la Lithographie d'E-Poutre et Gravure d'Ion Réactive Inductivement Accouplée de Plasma, » décrit la recette gravure à l'eau forte développée tout en produisant le diamant tranchant dirige pour les sondes atomiques de microscopie (AFM) de force. La recette sèche gravure à l'eau forte a été optimisée pour réaliser des tarifs maximum gravure à l'eau forte de 650 nm/min utilisant les Disques de l'UNCD® d'ADT. On donne également des Paramètres pour réaliser des tarifs plus lents gravure à l'eau forte qui s'appliquent pour développer les nano-structures fragiles. Des phases De Processus pour produire et modeler le masque dur, des 350 couches déposées par vapeur chimique plasma-améliorée épaisse de nanomètre SiOx, sont également détaillées.

« Nous avons des abonnées employant nos Disques d'UNCD pour rendre des produits de diamant aussi divers que l'AFM sonde, commute pour le radar à balayage électronique, biocapteurs pour trouver Escherichia coli dans l'eau, l'éclairage de LED, et des électrodes bore-dopées de diamant pour la purification d'eau. Une recette simple et optimisée gravure à l'eau forte rend l'adoption du diamant très droite, » dit M. en chef John Carlisle de l'officier technicien d'ADT. « Un rétablissement entier de 2D et les structures du diamant 3D sont maintenant concevables comme des dispositifs du RF MEMS de haute performance et des accéléromètres, » a dit le scientifique de plomb du MEMS d'ADT et l'auteur important de l'article de JVST B, M. Nicolaie Moldovan.

Le développement d'une capacité sèche optimisée gravure à l'eau forte fait partie de la recherche actuelle d'ADT pour avancer sa Récompense 2009 R&D100 gagnant NaDiaProbes®, les premières sondes d'AFM du tout-diamant du monde, qui sont produites utilisant des Disques d'UNCD comme produit de départ. NaDiaProbes ne sont pas les sondes ou les pièces diamant-enduites de diamant montées sur des encorbellements ; l'assemblage entier plutôt en porte-à-faux et d'extrémité est fait d'UNCD, une forme en couche mince de diamant de nanocrystalline.

ADT reconnaît avec reconnaissance sa collaboration continue avec le Laboratoire National d'Argonne (Argonne) qui est un co-auteur de l'article de JVST B. NaDiaProbes ont été développés avec une concession du programme du SBIR/STTR du National Science Foundation.

Formé pour commercialiser la technologie de diamant d'ultrananocrystalline développée chez Argonne, ADT est le titulaire d'une licence exclusif à son portefeuille des brevets de diamant. ADT est une Technologie 2007 de Forum Économique Mondial Pionnière, un bénéficiaire d'une Récompense 2008 d'IC d'EuroAsia dans les Matériaux Activant la catégorie du magasin de Semi-conducteur d'EuroAsia, un Lauréat du prix 2008 de R&D 100 pour des faces de visas mécaniques pour les pompes liquides, et un Lauréat du prix 2009 de R&D 100 pour NaDiaProbes.

Last Update: 13. January 2012 06:20

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