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Affidabile e conveniente Progettazione Micro Devices e sensori Fuori Diamante

Published on February 3, 2010 at 6:09 PM

Advanced Technologies Diamond (ADT) sta rendendo ampiamente disponibili una ricetta etch, che consente agli ingegneri e sviluppatori di prodotti in modo affidabile e conveniente progettare dispositivi micro e sensori di diamante.

Basato su una ricerca pubblicata sul numero di novembre / dicembre 2009 questione del peer-reviewed Journal of Vacuum Science & Technology B (JVST B), la ricetta etch è disponibile per il download dal sito di ADT a http://www.thindiamond.com . Utilizzando processi standard disponibile nella maggior parte delle fonderie, questa ricetta etch secco consente ai progettisti di sviluppare all'avanguardia diamante dispositivi di micro e sensori, eliminando la complessità tradizionalmente associati con diamante.

"Il processo di diamante per rendere disponibile, accessibile e conveniente è completo. Abbiamo pubblicato questa ricetta così diamante può essere incorporato nel processo scorre con la stessa attrezzatura ed i materiali utilizzati per elaborare silicio. Abbiamo eliminato il rischio e il mistero-di come rendere i dispositivi di diamante e ci auguriamo di stimolare la creatività e l'ingegno dei progettisti di realizzare dispositivi diamante senza dover preoccuparsi di loro fasi di elaborazione ", ha detto il presidente di ADT, Neil Kane.

Il "Nanofabrication di punte di diamante Sharp da E-litografia a fascio e plasma accoppiato induttivamente Reactive Ion Etching", articolo descrive la ricetta etch sviluppato durante la creazione di punte di diamante tagliente per microscopia a forza atomica (AFM) sonde. La ricetta secco etch è stato ottimizzato per raggiungere una velocità massima etch di 650 nm / min con ADT Wafer UNCD ®. I parametri per ottenere più lenti tassi di etch sono delineate anche che sono applicabili per lo sviluppo di nano-strutture delicate. Fasi del processo per la creazione ed il modello della maschera dura, di 350 nm di spessore plasma-enhanced chimica da fase vapore depositato SiOx strato, sono anche dettagliati.

"Abbiamo clienti che utilizzano i nostri Wafers UNCD per rendere i prodotti diamante diversi come sonde AFM, interruttori per phased array radar, biosensori per rilevare E. coli in acqua, illuminazione a LED, e boro-drogato elettrodi di diamante per la purificazione dell'acqua. Una semplice ricetta ottimizzata etch rende l'adozione di diamante molto semplice ", dice di ADT Chief Technical Officer Dr. John Carlisle. "Un'intera generazione di strutture di diamante 2D e 3D sono ora possibili, come ad alte prestazioni dispositivi RF MEMS e accelerometri," ha detto l'ADT scienziato MEMS e autore principale dell'articolo JVST B, il Dott. Nicolaie moldavo.

Lo sviluppo di una capacità ottimizzata secco etch è parte della continua ricerca di ADT per promuovere i suoi 2009 R & D100 premiato NaDiaProbes ®, il primo al mondo tutti i diamanti sonde AFM, che vengono creati utilizzando wafer UNCD come materiale di partenza. NaDiaProbes non sono diamantati sonde o pezzi di diamante montato su cantilever, ma piuttosto l'intero e il montaggio a sbalzo punta è fatta di UNCD, un modulo a film sottile di diamante nanocristallino.

ADT ringrazia la collaborazione continua con Argonne National Laboratory (Argonne), che è co-autore dell'articolo B JVST. NaDiaProbes sono stati sviluppati con un finanziamento della National Science Foundation SBIR / STTR programma.

Costituita per commercializzare la tecnologia sviluppata presso diamante ultrananocrystalline Argonne, ADT è la licenziataria esclusiva al proprio portafoglio di brevetti di diamante. ADT è un World Economic Forum 2007 Technology Pioneer, destinatario di un Award 2008 Euroasia IC nei Materiali Abilitazione categoria dalla rivista Euroasia Semiconductor, una 2008 R & D 100 vincitore del premio per la meccanica volti guarnizioni per pompe del liquido, e un 2009 R & D 100 vincitore del premio per NaDiaProbes.

Last Update: 3. October 2011 15:16

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