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안정 저렴한 다이아몬드의 출력 마이크로 장치 및 센서를 디자인

Published on February 3, 2010 at 6:09 PM

고급 다이아몬드 기술 (대서양 서머 타임)은 안정 엔지니어 및 제품 개발자 활성화하고 저렴한 마이크로 장치와 다이아몬드 센서 아웃 디자인 에칭 요리법을 광범위하게 제공하고 있습니다.

진공 과학 기술 B (JVST B)의 피어 리뷰 저널의 11 월 / 2009년 12월 월호에 발표된 연구 결과에 따르면, 에칭 제조법 사이트에서 대서양 서머 타임의 웹 사이트에서 다운로드할 수 있습니다 http://www.thindiamond.com . 대부분의 파운드리에서 사용할 수있는 표준 프로세스를 사용하여,이 드라이 에칭 요리법은 전통적으로 다이아몬드와 관련된 복잡성을 제거하는 동안 설계자는 첨단 다이아몬드 마이크로 장치와 센서를 개발할 수 있습니다.

"다이아몬드 가능한 접근, 그리고 저렴한 확인하는 과정이 완료됩니다. 다이아몬드가 같은 장비와 실리콘을 처리하는 데 사용되는 재료를 사용하여 프로세스에 흐름을 통합 수 있도록 우리는이 조리법을 출판했습니다. 우리는 위험을 및 제거했습니다 신비 -의 다이아몬드 장치를 만들어 우리가 그들과 같이 처리에 대해 걱정하지 않고 다이아몬드 장치를 만들기 위해 디자이너의 독창성과 창의력을 자극하는 희망하는 방법을, "대서양 서머 타임 대통령, 닐 케인했다.

이 문서에서는 "e - 빔 리소그래피 및 유도 결합 플라즈마 반응 이온 에칭에 의해 샤프 다이아몬드 팁 Nanofabrication는"원자 힘 현미경 (AFM) 프로브에 대한 날카로운 다이아몬드 도움말을 만드는 동안 개발한 에칭 제조법을 설명합니다. 드라이 에칭 조리법은 대서양 서머 타임의 UNCD ® 웨이퍼를 사용하여 650 nm의 / 분 최대 에칭 속도를 달성하기 위해 최적화되었다. 느린 에칭 속도를 달성하기 위해 매개 변수도있는가 섬세한 나노 구조를 개발하기 위해 적용됩니다 설명되어 있습니다. 하드 마스크를 생성하고 patterning 공정 단계는, 플라즈마 강화된 화학 기상 두께가 350 nm의도 세부 있으며, SiOx 레이어를 입금.

"우리는 고객 AFM 프로브가 단계별로 - 배열 레이더를위한 스위치, 물에 E. 대장균을 감지하는 biosensors가 조명을 LED로 다양한으로 다이아몬드 제품을 만들기 위해 우리 UNCD 웨이퍼를 사용하고 물 정화를위한 붕소 - 도핑된 다이아몬드 전극있다. 간단하고 최적의 에칭 제조법은 다이아몬드의 채택은 매우 간단하게, "대서양 서머 타임의 최고 기술 책임자 존 칼라일 박사는 말합니다. "2D 및 3D 다이아몬드 구조의 전체 세대가 지금과 같은 고성능 RF MEMS 장치 및 accelerometers로 생각할 수있다"대서양 서머 타임의 MEMS 리드 과학자와 JVST B 문서, 박사 Nicolaie Moldovan의 리드 저자는 말했다.

최적화된 드라이 에칭 능력의 개발은 시작 소재로 UNCD 웨이퍼를 사용하여 만들어집니다 NaDiaProbes ®, 세계 최초의 모든 다이아몬드 AFM 프로브를 수상은 2009 R & D100 상을 발전 대서양 서머 타임의 지속적인 연구의 일환이다. NaDiaProbes은 다이아몬드 코팅 프로브 또는 cantilevers에 장착된 다이아몬드 조각 있지 않으며, 오히려 전체 캔틸레버와 팁 어셈블리 nanocrystalline 다이아몬드의 박막 형태는, UNCD 만들어진 것입니다.

대서양 서머 타임은 기꺼이 JVST의 B 문서의 공동 저자이다 Argonne 국립 연구소 (Argonne)와의 지속적인 협력을 알려줍니다. NaDiaProbes은 국립 과학 재단 (National Science Foundation)의 SBIR / STTR 프로그램에서 부여로 개발되었습니다.

Argonne에서 개발된 ultrananocrystalline 다이아몬드 기술을 상용화하기 위해 형성, 대서양 서머 타임은 다이아몬드 특허를 자사의 포트폴리오에 대한 독점적인 면허입니다. 대서양 서머 타임은 세계 경제 포럼 (World Economic Forum) 2007 기술의 개척자, EuroAsia 반도체 잡지, 오일 펌프에 대한 기계적 바다표범의 얼굴에 대한 2008 R & D 100 Award 수상작의 범주를 사용하면 재료에 2008 EuroAsia IC 상을받는 사람, 그리고 2009 R & D 100 Award 수상작입니다 NaDiaProbes.

Last Update: 15. October 2011 09:04

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