Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Betrouwbaar en Aan Een Redelijke Prijs Micro- van het Ontwerp Apparaten en Sensoren Uit Diamant

Published on February 3, 2010 at 6:09 PM

De Geavanceerde Technologieën van de Diamant (ADT) maakt ruim beschikbare recept etsen dat ingenieurs en productontwikkelaars aan betrouwbaar en aan een redelijke prijs ontwerp micro- apparaten en sensoren uit diamant toelaat.

Gebaseerd die bij het onderzoek in de kwestie van November/van December 2009 van het peer-herzien Dagboek van VacuümWetenschap & Technologie B (JVST B) wordt gepubliceerd, ets recept is beschikbaar voor download van Adt- website in http://www.thindiamond.com. Gebruikend standaardprocessen beschikbaar in de meeste gieterijen, dit droog recept toelaat ontwerpers etst om micro- van de scherp-randdiamant apparaten en sensoren te ontwikkelen terwijl het elimineren van de ingewikkeldheid traditioneel verbonden aan diamant.

Het „proces om diamant beschikbaar, toegankelijk, en betaalbaar te maken is volledig. Wij hebben dit recept gepubliceerd zodat kan de diamant in processtromen worden opgenomen gebruikend de zelfde die uitrusting en de materialen wordt gebruikt om silicium te verwerken. Wij hebben risico-en geheim-van hoe te om diamantapparaten geëlimineerd te maken en wij hopen om de creativiteit en de vindingrijkheid van ontwerpers te bevorderen om diamantapparaten te maken zonder het hebben van hen zich over verwerkingsstappen ongerust maken,“ bovengenoemde voorzitter van ADT, Neil Kane.

Het artikel, de „Nanofabricatie van de Scherpe Uiteinden van de Diamant door E-beam Lithography en het Inductief Gekoppelde Plasma Reactieve IonenEts,“ beschrijven etsen ontwikkeld recept terwijl het leiden van tot scherpe diamantuiteinden voor de atoomsondes van de kracht (AFM)microscopie. Droog etst recept werd geoptimaliseerd om een maximum te bereiken etst tarief van 650 nm/min gebruikend de Wafeltjes UNCD® van ADT. De Parameters om langzamer te bereiken etsen tarieven zijn ook geschetst welke voor het ontwikkelen van gevoelige nano-structuren toepasselijk zijn. De stappen van het Proces voor het creëren van en het vormen van het harde masker, een 350 NM dikke plasma-verbeterde chemische damp gedeponeerde laag SiOx, zijn ook gedetailleerd.

„Wij hebben klanten die onze Wafeltjes UNCD gebruiken om diamantproducten zo divers te maken zoals AFM sondes, schakelaars voor phased-array radar, biosensors om E. coli in water, LEIDENE verlichting, en borium-gesmeerde diamantelektroden voor waterreiniging te ontdekken. Eenvoudig, geoptimaliseerd etst recept maakt de goedkeuring van diamant zeer ongecompliceerd,“ zegt de belangrijkste technische ambtenaar van ADT Dr. John Carlisle. Een „gehele generatie van 2D en 3D diamantstructuren is nu denkbaar zoals hoge prestatiesRF MEMS apparaten en versnellingsmeters,“ bovengenoemde van HOOFD ADT MEMS wetenschapper en hoofdauteur van het van JVST B- artikel, Dr. Nicolaie Moldovan.

De ontwikkeling van geoptimaliseerde droog etst vermogen uitmaakt deel van het aan de gang zijnde onderzoek van ADT om zijn Toekenning vooruit te gaan 2009 die R&D100 NaDiaProbes®, de eerste de alle-diamantAFM sondes winnen van de wereld, die gebruikend Wafeltjes UNCD als beginnend materiaal worden gecreeerd. NaDiaProbes is geenmet een laag bedekte sondes of stukken van diamant opgezet op cantilevers; eerder wordt de volledige cantilever en uiteindeassemblage gemaakt van UNCD, een thin-film vorm van nanocrystallinediamant.

ADT erkent met dank zijn voortdurende samenwerking met Nationaal Laboratorium Argonne (Argonne) dat een medeauteur van het van JVST B- artikel is. NaDiaProbes werd ontwikkeld met een toelage van het Van de Nationale Stichting van de Wetenschap sbir/sttr- programma.

Gevormd die ultrananocrystalline op de markt te brengen is de diamanttechnologie in Argonne, ADT wordt ontwikkeld de exclusieve vergunninghouder aan zijn portefeuille van diamantoctrooien. ADT is een Pionier van de Technologie van het Forum 2007 van de Wereld Economische, een ontvanger van een Toekenning die van EuroAsia IC van 2008 in de Materialen categorie van het tijdschrift van de Halfgeleider Toelaten EuroAsia, een winnaar van de Toekenning van 2008 R&D 100 voor mechanische verbindingengezichten voor vloeibare pompen, en een winnaar van de Toekenning van 2009 R&D 100 voor NaDiaProbes.

Last Update: 13. January 2012 06:58

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit