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Confiantemente e Disponìvel Micro Dispositivos do Projecto e Sensores Fora do Diamante

Published on February 3, 2010 at 6:09 PM

As Tecnologias Avançadas do Diamante (ADT) estão fazendo amplamente disponível uma receita gravura em àgua forte que permita coordenadores e reveladores do produto a confiantemente e disponìvel micro dispositivos do projecto e sensores fora do diamante.

Baseado na pesquisa publicada Novembro na introdução do Dezembro de 2009 do Jornal par-revisto da Ciência do Vácuo & da Tecnologia B (JVST B), a receita gravura em àgua forte estão disponíveis para a transferência do Web site de ADT em http://www.thindiamond.com. Usar os processos padrão disponíveis na maioria de fundições, nesta receita seca gravura em àgua forte permite desenhistas de desenvolver dispositivos e sensores do diamante pioneiro micro ao eliminar a complexidade associada tradicional com o diamante.

“O processo para fazer o diamante disponível, acessível, e disponível está completo. Nós publicamos esta receita assim que o diamante pode ser incorporado em fluxos de processo usando o mesmos equipamento e materiais usados para processar o silicone. Nós eliminamos risco-e mistério-de como fazer-nos dispositivos e do diamante espere estimular a faculdade criadora e a capacidade dos desenhistas para fazer dispositivos do diamante sem mandá-los preocupar-se sobre etapas de processamento,” disse o presidente de ADT, Neil Kane.

O artigo, a “Nanofabricação de Pontas Afiadas do Diamante pela Litografia do E-Feixe e Gravura A Água-forte de Íon Reactiva Indutiva Acoplada do Plasma,” descrevem a receita gravura em àgua forte desenvolvida ao criar o diamante afiado derrubam para pontas de prova atômicas da microscopia (AFM) da força. A receita seca gravura em àgua forte foi aperfeiçoada para conseguir uma taxa máxima gravura em àgua forte de 650 nm/min usando Bolachas do UNCD® de ADT. Os Parâmetros para conseguir umas taxas mais lentas gravura em àgua forte são esboçados igualmente que sejam aplicáveis para desenvolver nano-estruturas delicadas. As etapas do Processo para criar e modelar a máscara dura, umas 350 camadas depositadas densamente plasma-aumentadas do nanômetro vapor químico SiOx, são detalhadas igualmente.

“Nós temos os clientes que usam nossas Bolachas de UNCD para fazer produtos do diamante tão diversos como o AFM sonda, comutamos para o radar da pôr em fase-disposição, biosensors para detectar Escherichia Coli na água, na iluminação do DIODO EMISSOR DE LUZ, e nos eléctrodos boro-lubrificados do diamante para a purificação de água. Uma receita simples, aperfeiçoada gravura em àgua forte faz a adopção do diamante muito directa,” diz o Dr. principal John Carlisle do oficial técnico de ADT. “Uma geração inteira de 2D e as estruturas do diamante 3D são agora concebíveis como dispositivos do RF MEMS do elevado desempenho e acelerómetros,” disse o cientista do chumbo do MEMS de ADT e o autor principal do artigo de JVST B, Dr. Nicolaie Moldavo.

A revelação de uma capacidade seca aperfeiçoada gravura em àgua forte é parte da pesquisa em curso de ADT para avançar sua Concessão 2009 R&D100 que ganha NaDiaProbes®, pontas de prova do AFM do todo-diamante do mundo as primeiras, que são criadas usando Bolachas de UNCD como um material começar. NaDiaProbes não é pontas de prova ou partes diamante-revestidas de diamante montadas em modilhões; um pouco o modilhão e o conjunto inteiros da ponta são feitos de UNCD, um formulário de fita fina do diamante do nanocrystalline.

ADT reconhece grata sua colaboração de continuação com o Laboratório Nacional de Argonne (Argonne) que é um co-autor do artigo de JVST B. NaDiaProbes foi desenvolvido com uma concessão do programa do SBIR/STTR do National Science Foundation.

Formado para comercializar a tecnologia do diamante do ultrananocrystalline desenvolvida em Argonne, ADT é o licenciado exclusivo a sua carteira de patentes do diamante. ADT é uma Tecnologia 2007 Pioneira, um receptor do Fórum Econômico de Mundo de uma Concessão 2008 de EuroAsia IC nos Materiais Permitindo a categoria do compartimento do Semicondutor de EuroAsia, um vencedor 2008 da Concessão do R&D 100 para as faces dos selos mecânicos para as bombas fluidas, e um R&D 2009 100 Concede o vencedor para NaDiaProbes.

Last Update: 13. January 2012 04:33

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