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可靠和價格合理地設計微設備和傳感器在金剛石外面

Published on February 3, 2010 at 6:09 PM

先進的金剛石技術 (ADT)寬廣地做可用啟用工程師和產品開發員對可靠和價格合理地設計微設備和傳感器在金剛石外面的銘刻處方。

基於在真空科學 & 技術 B 被評論的日記帳的 11月/12月 2009 問題發布的研究 (JVST B),銘刻處方可以從 ADT 的網站的下載在 http://www.thindiamond.com。 使用標準進程可用在多數鑄造廠,此乾燥銘刻處方使設計員發展最尖端的金剛石微設備和傳感器,當消滅複雜傳統上與金剛石相關時。

「使金剛石可用,可訪問和價格合理的這個進程是完全的。 我們發布了此處方,因此金剛石可以合併到使用用於的同樣設備和材料的流程裡處理硅。 我們消滅了風險和奧秘如何做金剛石設備和我們请希望刺激設計員創造性和機巧做金剛石設備,不用安排他們擔心處理步驟」,尼爾 Kane 總統,說 ADT 的。

鋒利的金剛石技巧的條款、 「極小製作由 E 射線石版印刷的和引人地耦合的等離子易反應的離子蝕刻」,描述被開發的銘刻處方,當創建鋒利的金剛石時為基本強制顯微學探測 (AFM)打翻。 使用 ADT 的 UNCD® 薄酥餅,乾燥銘刻處方被優選達到 650 个 nm/min 的一種最大銘刻費率。 達到為開發精美納諾結構是可適用的更加緩慢的銘刻費率的參數也概述。 創建和仿造的困難屏蔽,一塊 350 塊毫微米等離子濃厚改進的化工蒸氣存款 SiOx 層處理步驟,也詳述。

「我們有使用我們的 UNCD 薄酥餅的客戶使金剛石產品一樣不同,像 AFM 探查,為相控陣雷達,生理傳感器切換檢測在水、 LED 照明設備和硼被摻雜的金剛石電極的大腸埃希氏菌水淨化的。 一份簡單,優化銘刻處方使採用金剛石非常直接」,博士約翰卡來爾說 ADT 的首席技術幹事。 「全部的生成的第 2 和 3D 金剛石結構現在是可以想像的例如高性能 RF MEMS 設備,并且過載信號器」,科學家和 JVST B 條款的主要作者, Nicolaie Moldovan 博士說 ADT 的 MEMS 線索。

一個優化乾燥銘刻功能的發展是 ADT 的持續的研究的一部分提前其 2009 个 R&D100 的得獎的 NaDiaProbes®,世界的第一全金剛石 AFM 探測,被創建使用 UNCD 薄酥餅作為一種原材料。 NaDiaProbes 不是在懸臂或部分掛接的金剛石金剛石上漆的探測; 相當整個懸臂式和技巧集合由 UNCD, nanocrystalline 金剛石的一份薄膜表單做成。

ADT 感恩地承認其與是 JVST B 條款的共同執筆者的 Argonne 國家實驗室 (Argonne) 的繼續的協作。 NaDiaProbes 開發了與從國家科學基金會的 SBIR/STTR 程序的授予。

形成把 ultrananocrystalline 金剛石技術商業化被開發在 Argonne, ADT 是獨有的證書持有人對金剛石專利其投資組合。 ADT 是先驅世界經濟論壇 2007年技術,一個 2008年 EuroAsia 集成電路證書的接收人在材料的啟用從 EuroAsia 半導體雜誌的類別,機械密封表面的一個 2008 R&D 100 證書贏利地區流動泵的,并且 2009 R&D 100 授予 NaDiaProbes 的贏利地區。

Last Update: 25. January 2012 13:16

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