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Dow Electronic Materials Joins SEMATECH Resist Materials and Development Center

Published on February 4, 2010 at 8:25 AM

SEMATECH , ein internationales Konsortium von Chipherstellern und Dow Electronic Materials hat heute bekannt gegeben, dass Dow beigetreten SEMATECH Resist Materials and Development Center (RMDC) an der Hochschule für Nanoscale Science and Engineering (CNSE) der University at Albany.

Um vorab die Entwicklung der nächsten Generation Strukturierung Technologien wird Dow Electronic Materials mit SEMATECH Forscher CNSE Albany NanoTech Complex zu entwickeln und zu demonstrieren extreme Ultraviolett-Lithographie (EUV)-Materialien und widersteht für den Einsatz bei der 22 nm-Knoten und darüber hinaus zusammenzuarbeiten.

"Wir wollen Partner mit modernsten Technologen bei den Bemühungen zur Entwicklung und Vermarktung EUVL-Technologie für die Herstellung von zukünftigen Nanoelektronik sind begeistert", sagte George Barclay, Mikroelektronik R & D Direktor Semiconductor Technologies bei Dow Electronic Materials. "Diese neue Partnerschaft verbindet Dow Erfahrung in Photoresist-Materialien, Entwickler und unten Antireflexbeschichtungen mit SEMATECH Stärken in der Entwicklung der grundlegenden widerstehen Prozesse sind entscheidend für die EUV-Infrastruktur."

"Diese gemeinsame Anstrengung verstärkt SEMATECH Engagement für innovative widerstehen und Materialien und beschleunigen EUV-Prozess Einführung in Pilotlinie Herstellung zu entwickeln", sagte John Warlaumont, Vice President of Advanced Technologies bei SEMATECH. "Wir freuen uns, Dow als Mitglied begrüßen zu dürfen, und schätzen ihre Teilnahme an kontinuierlichen Bemühungen SEMATECH auf breitere und tiefere Zusammenarbeit für fortschrittliche Materialien Entwicklung aufzubauen."

"Der Zusatz von Dow Electronic Materials wird die Spitzenforschung in EUVL Technologie CNSE Albany NanoTech Complex beschleunigen", sagte Richard Brilla, CNSE Vice President für Strategie, Allianzen und Konsortien. "Diese Kooperation eine weitere Verbesserung der Weltklasse-Fähigkeiten und Liste von weltweit führenden Unternehmen in der UAlbany NanoCollege, und unterstreicht den Erfolg des SEMATECH-CNSE Partnerschaft in den Betrieb fortschrittlicher Technologie-Lösungen, die entscheidend für Industrie sind."

Am RMDC, was zu widerstehen und Materiallieferanten in konzentrierten, kooperative F & E mit SEMATECH Mitgliedsunternehmen beteiligen. Gemeinsam bietet das RMDC die Hard-und Forschungs-Know-how von Materiallieferanten und Mitgliedsunternehmen, die zur Entwicklung EUV widerstehen Prozesse, die die strengen Auflösung gerecht zu werden, Linienbreite Rauheit, und die Empfindlichkeit Spezifikationen für die EUV-Insertion an Mitgliedsunternehmen benötigt.

Last Update: 6. October 2011 05:12

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