Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

أكسفورد الآلات تعلن نهاية تحسين القدرة على الموضع أدوات إحفر البلازما وترسب

Published on February 16, 2010 at 6:35 AM

أكسفورد الآلات البلازما التكنولوجيا (OIPT) يسرها أن تعلن عن تحسن في نهاية مشيرا القدرة على مجموعة من أدوات حفر وترسب البلازما ، مع إدخال نظام مطياف CCD1. وCCD1 غير قادرة على توفير قدرة عملية على حد سواء endpointing ، والأشعة فوق البنفسجية / VIS التقاط الطيف ، ويتوفر كخيار قياسي على جميع وسائل جديدة أو كخيار لترقية العملاء الحاليين الآلات أكسفورد.

مطياف هذا يوفر سبيلا فعالا من حيث التكلفة endpointing الغرض العام والتحليل الطيفي ، دون المساومة على القرار أو قوة الإشارة.

وCCD1 هو مطياف الأشعة فوق البنفسجية CCD / VIS التي يمكن رصد مجموعة واسعة من انبعاثات البلازما عبر موجات 200nm 880nm -. ويمكن استخدام هذه الوحدة في واحدة من طريقتين : عملية الكشف عن نقطة النهاية عن طريق البرامج وOIPT ™ PC2000 ، أو عرض كامل الطيف وتسجيلها. وهذا يوفر للمستخدم مع معلومات مفصلة البلازما الطيفي ، والتي يمكن استخدامها لرصد تجمعات الأنواع داخل البلازما. ويمكن أيضا الأطياف يمكن مقارنة البيانات الطيفية السابقة -- نظام لرصد وكشف الخطأ واحتمال الخطأ تصنيف.

متوفرة الآن كخيار النظام على أدوات جديدة OIPT حفر وترسب ، يمكن أيضا أن يكون مطياف CCD1 كما عرضت على ترقية نظم في هذا المجال ، تعتمد على عمر النظام ، والنوع ، والتكوين.

Last Update: 6. October 2011 00:24

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit