أكسفورد الآلات تعلن نهاية تحسين القدرة على الموضع أدوات إحفر البلازما وترسب

أكسفورد الآلات البلازما التكنولوجيا (OIPT) يسرها أن تعلن عن تحسن في نهاية مشيرا القدرة على مجموعة من أدوات حفر وترسب البلازما ، مع إدخال نظام مطياف CCD1. وCCD1 غير قادرة على توفير قدرة عملية على حد سواء endpointing ، والأشعة فوق البنفسجية / VIS التقاط الطيف ، ويتوفر كخيار قياسي على جميع وسائل جديدة أو كخيار لترقية العملاء الحاليين الآلات أكسفورد.

مطياف هذا يوفر سبيلا فعالا من حيث التكلفة endpointing الغرض العام والتحليل الطيفي ، دون المساومة على القرار أو قوة الإشارة.

وCCD1 هو مطياف الأشعة فوق البنفسجية CCD / VIS التي يمكن رصد مجموعة واسعة من انبعاثات البلازما عبر موجات 200nm 880nm -. ويمكن استخدام هذه الوحدة في واحدة من طريقتين : عملية الكشف عن نقطة النهاية عن طريق البرامج وOIPT ™ PC2000 ، أو عرض كامل الطيف وتسجيلها. وهذا يوفر للمستخدم مع معلومات مفصلة البلازما الطيفي ، والتي يمكن استخدامها لرصد تجمعات الأنواع داخل البلازما. ويمكن أيضا الأطياف يمكن مقارنة البيانات الطيفية السابقة -- نظام لرصد وكشف الخطأ واحتمال الخطأ تصنيف.

متوفرة الآن كخيار النظام على أدوات جديدة OIPT حفر وترسب ، يمكن أيضا أن يكون مطياف CCD1 كما عرضت على ترقية نظم في هذا المجال ، تعتمد على عمر النظام ، والنوع ، والتكوين.

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit