Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

Oxford Instruments ανακοινώνει Βελτιωμένη Τελικού κατάδειξης Δυνατότητα στο Εργαλεία πλάσμα χαράζει και εναπόθεση

Published on February 16, 2010 at 6:35 AM

Oxford Instruments Plasma Τεχνολογίας (OIPT) βρίσκεται στην ευχάριστη θέση να ανακοινώσει τη βελτίωση τέλος που δείχνει ικανότητα για την γκάμα των εργαλείων πλάσμα χαράζει και απόθεσης, με την εισαγωγή του συστήματος CCD1 Φασματόμετρο. Η CCD1 είναι σε θέση να προσφέρουν τόσο μια διαδικασία endpointing ικανότητα, και UV / VIS σύλληψη του ραδιοφάσματος, και είναι διαθέσιμο ως βασικό εξοπλισμό σε όλα τα νέα εργαλεία ή ως επιλογή αναβάθμισης για τους υφιστάμενους πελάτες της Οξφόρδης Όργανα.

Αυτό το φασματόμετρο παρέχει μια οικονομικά αποδοτική διαδρομή στο γενικό endpointing σκοπό και φασματοσκοπία, χωρίς συμβιβασμούς στην ανάλυση ή την ισχύ του σήματος.

Η CCD1 είναι ένα UV / VIS CCD φασματόμετρο που μπορούν να παρακολουθούν ένα ευρύ φάσμα των εκπομπών πλάσμα πάνω από τα μήκη κύματος 200nm-880nm. Αυτή η μονάδα μπορεί να χρησιμοποιηθεί με δύο τρόπους: διαδικασία ανίχνευσης παράμετρο μέσω PC2000 ™ λογισμικού OIPT, ή την πλήρη προβολή του φάσματος και καταγραφής. Αυτό παρέχει στο χρήστη λεπτομερείς πληροφορίες φασματοσκοπία πλάσματος, τα οποία μπορούν να χρησιμοποιηθούν για την παρακολούθηση των συγκεντρώσεων των ειδών εντός του πλάσματος. Τα φάσματα μπορούν επίσης να συγκριθούν με τα προηγούμενα φασματικά δεδομένα - για την παρακολούθηση του συστήματος, τον εντοπισμό ελαττωμάτων και τις δυνατότητες ταξινόμησης υπαιτιότητα.

Τώρα διατίθεται ως επιλογή του συστήματος με νέα εργαλεία OIPT etch και απόθεσης, το φασματόμετρο CCD1 μπορεί επίσης να προσφέρεται ως αναβάθμιση των συστημάτων στον τομέα, εξαρτάται από την ηλικία του συστήματος, τον τύπο και διαμόρφωση.

Last Update: 6. October 2011 00:55

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit