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Oxford Instruments annonce la fin de pointage amélioré les capacités des outils de gravure par plasma et dépôt

Published on February 16, 2010 at 6:35 AM

Oxford Instruments technologie des plasmas (OIPT) est heureuse d'annoncer la fin de pointage amélioré la capacité sur sa gamme d'outils de gravure par plasma et le dépôt, avec l'introduction du système CCD1 spectromètre. Le CCD1 est capable de fournir à la fois une capacité de processus endpointing, et la capture du spectre UV / VIS, et est disponible comme option standard sur tous les nouveaux outils ou comme une option de mise pour les clients existants Oxford Instruments.

Ce spectromètre fournit une voie rentable pour endpointing usage général et de la spectroscopie, sans compromis sur la résolution ou la force du signal.

Le CCD1 est un spectromètre UV / VIS CCD qui peut surveiller une large gamme de longueurs d'onde des émissions de plasma sur 200nm 880nm-. Cet appareil peut être utilisé dans une des deux manières: détection critère processus via OIPT de PC2000 ™, le logiciel, ou de l'affichage et le spectre complet d'enregistrement. Ceci fournit à l'utilisateur des informations détaillées du plasma spectroscopie, qui peuvent être utilisés pour la surveillance des concentrations d'espèces dans le plasma. Les spectres peuvent aussi être comparées aux précédentes données spectrales - pour la surveillance du système, la détection des défauts et la classification de défaut potentiel.

Maintenant disponible en option du système sur des outils nouveaux OIPT de gravure et de dépôt, le spectromètre CCD1 peut aussi être proposé comme une mise à niveau des systèmes dans le domaine, en fonction de l'âge du système, le type et la configuration.

Last Update: 5. October 2011 12:54

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