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옥스포드 계기는 향상해 알려 플라스마 식각과 공술서 공구에 기능 최후 조준

옥스포드 계기 플라스마 기술은 (OIPT) 향상해 알리는 만족되어 CCD1 분광계 시스템의 소개와 더불어 플라스마 식각과 공술서 공구의 그것의 범위에 기능, 최후 조준. CCD1는 프로세스 endpointing 기능을 모두 제공하고는, 및 UV/VIS 스펙트럼 붙잡음 도 할 수 있고, 기존 옥스포드 계기 고객을 위한 모든 새로운 도구에 표준 선택권 또는 향상 선택권으로 유효합니다.

이 분광계는 다목적 endpointing 및 분광학에 해결책 또는 감도에 타협 없이 비용 효과적인 경로를, 제공합니다.

CCD1는 파장 200nm-880nm에 플라스마 방출의 광범위를 감시할 수 있는 UV/VIS CCD 분광계입니다. 이 부대는 2개의 쪽의 한에서 이용될 수 있습니다: OIPT의 PC2000™ 소프트웨어를 통해 가공 종점 탐지, 또는 가득 차있는 스펙트럼 보기 및 기록. 이것은 플라스마 내의 종의 사격량 감시를 위해 사용될 수 있는 상세한 플라스마 분광학 정보를 사용자에게 제공합니다. 스펙트럼은 또한 - 시스템 모니터링, 결함 검출 및 잠재력 결함 분류의 - 이전 괴기한 데이터와 비교될 수 있습니다.

새로운 OIPT 식각과 공술서 공구에 시스템 선택권이 또한 시스템 나이, 모형 및 윤곽에 의존하는 필드에 있는 시스템에 향상으로, CCD1 분광계 제안될 수 있던 대로 지금 유효한.

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