Os Instrumentos de Oxford Anunciam Melhorado Fim-Apontando a Capacidade em Ferramentas Gravura Em Àgua Forte e do Depósito do Plasma

Published on February 16, 2010 at 6:35 AM

A Tecnologia do Plasma dos Instrumentos de Oxford (OIPT) é satisfeito anunciar melhorado fim-apontando a capacidade em sua escala de ferramentas gravura em àgua forte e do depósito do plasma, com a introdução do sistema do Espectrómetro CCD1. O CCD1 é capaz da captação do fornecimento de uma capacidade endpointing do processo, e do espectro de UV/VIS, e está disponível como uma opção padrão em todas as novas ferramentas ou como uma opção de elevação para clientes existentes dos Instrumentos de Oxford.

Este espectrómetro fornece uma rota eficaz na redução de custos a endpointing e a espectroscopia de uso geral, sem comprometer na força da definição ou de sinal.

O CCD1 é um espectrómetro do CCD de UV/VIS que possa monitorar uma vasta gama de emissões do plasma sobre os comprimentos de onda 200nm-880nm. Esta unidade pode ser usada em uma de duas maneiras: detecção do valor-limite do processo através do software do PC2000™ de OIPT, ou visão e gravação completas do espectro. Isto fornece o usuário a informação detalhada da espectroscopia do plasma, que pode ser usada monitorando as concentrações de espécies dentro do plasma. Os espectros podem igualmente ser comparados aos dados espectrais precedentes - para a monitoração de sistema, a detecção de falha e a classificação da falha do potencial.

Agora disponível como uma opção do sistema em ferramentas novas gravura em àgua forte e do depósito de OIPT, o espectrómetro CCD1 pode igualmente ser oferecida como uma elevação aos sistemas no campo, dependente da idade, do tipo, e da configuração do sistema.

Last Update: 13. January 2012 03:48

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