Energetiq Technology lancerer Solid-State LED illuminator til anvendelse i halvlederlitografi

Published on February 19, 2010 at 3:34 AM

Energetiq Technology, Inc., en udvikler og producent af specielle lyskilder til avancerede applikationer, har bebudet en solid state LED illuminator til sin lyskilde produktudbud til brug i halvlederlitografi. Den Energetiq LED illuminator vil blive indført på SPIE Avanceret Litografi, februar 23-24, 2010 i San Jose, CA.

Den Energetiq LED illuminator har en lang levetid - op til 20.000 timer - så der er ingen pære ændringer og efterfølgende systemet nedetid som kan forekomme ved brug af traditionelle kviksølv lamper. Det tilbyder enestående ensartethed af belysning, typisk mindre end 2% af ikke-ensartethed - ikke behov for en ekstra Homogenizer. Desuden giver instant on / off funktion af LED illuminator til drift uden en lukkertid.

"Historisk set har UV lysdioder ikke er blevet betragtet praktisk som belysning kilder på grund af deres lave magt og lysstyrke," siger Paul Blackborow, administrerende direktør for Energetiq. "Vores ekspertise i høj lysstyrke, højt output lyskilder har gjort det muligt for os at skabe en LED illuminator, der kan producere lysstyrken og magt er nødvendige for nutidens litografiske applikationer, med betydelige fordele i forhold til kviksølv lamper. Omkostninger ved ejerskab er stærkt reduceret på grund af den lange levetid af vores lampe. Superior ensartethed-kontrol og ingen opvarmningstid fordele ved LED illuminator forsyne vores kunder med forbedret ydeevne muligheder. Vores egen lys motor og avanceret køleteknik fører til et meget kompakt design, der kan fjerne behovet for mekaniske skodder, filtre og dyre optik, og derved reducere systemets kompleksitet og værktøj fodaftryk. "

Den Energetiq LED illuminator er tilgængelig i et udvalg af 365 nm (I-line) eller 365/405/440nm (i / t / g-linie) versioner og kan integreres i nye eller eftermonteres værktøjer.

Kilde: http://www.energetiq.com/

Last Update: 5. October 2011 09:54

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit