Energetiq-Technologie Bindet Festkörper-LED-Belichtungseinheit für Anwendung in der Halbleiter-Lithographie los

Published on February 19, 2010 at 3:34 AM

Energetiq Technology, Inc., ein Entwickler und Hersteller von fachkundigen Lichtquellen für Anwendungen der neuen Technologie, hat eine Festkörper-LED-Belichtungseinheit zu seinem Lichtquelleproduktangebot für Gebrauch in der Halbleiterlithographie angekündigt. Die Belichtungseinheit Energetiq LED wird an SPIE Fortgeschrittener Lithographie, 23.-24. Februar 2010 in San Jose, CA eingeführt.

Die Belichtungseinheit Energetiq LED hat eine lange Lebensdauer -- bis 20.000 Stunden -- so es gibt keine Lampenwechsel und nachfolgende Anlagenausfallzeit, wie mit dem Gebrauch der traditionellen Quecksilberlampen auftreten kann. Es bietet außergewöhnliche Einheitlichkeit von Beleuchtung, gewöhnlich weniger als 2% der Ungleichmäßigkeit an -- kein Bedarf an einem zusätzlichen Homogenisierer. Darüber hinaus lässt sofortige AN/AUS-Fähigkeit der LED-Belichtungseinheit Operation ohne einen Fensterladen zu.

„Historisch, haben UVled nicht als praktisch als Beleuchtungsquellen wegen ihrer geringen Energie gegolten und Helligkeit,“ sagte Paul Blackborow, CEO von Energetiq. „Unsere Sachkenntnis in der hohen Helligkeit, mit hohem Ausschuss Lichtquellen hat uns aktiviert, eine LED-Belichtungseinheit, die die Helligkeit produzieren und erforderliches für heutige lithographische Anwendungen anschalten kann, mit beträchtlichen Vorteilen über Quecksilberlampen herzustellen. Kosten des Besitzes liegen groß an der langen Lebensdauer unserer Lampe verringertes. Die überlegene Einheitlichkeitsregelung und kein Aufwärmennutzen der LED-Belichtungseinheit versieht unsere Abnehmer mit erhöhten Leistungsgelegenheiten. Unsere eigene Leerlok und verfeinerte abkühlende Technik führt zu eine sehr Kompaktbauweise, die den Bedarf an den mechanischen Fensterläden, Filter und teure Optik beseitigen kann, dadurch sie verringert sie Anlagenkomplexität und Hilfsmittelabdruck.“

Die Belichtungseinheit Energetiq LED ist in einer Wahl von Versionen 365nm (IchLine) oder 365/405/440nm (i/h/g-line) erhältlich und kann in die neuen oder nachgerüsteten Hilfsmittel integriert sein.

Quelle: http://www.energetiq.com/

Last Update: 13. January 2012 05:41

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