Energetiq प्रौद्योगिकी, Inc, डेवलपर और उन्नत प्रौद्योगिकी अनुप्रयोगों के लिए विशेष प्रकाश स्रोतों के निर्माता, अर्धचालक लिथोग्राफी में उपयोग के लिए प्रकाश स्रोत उत्पाद की पेशकश करने के लिए एक ठोस राज्य एलईडी प्रकाशक की घोषणा की है. Energetiq एलईडी प्रकाशक SPIE उन्नत लिथोग्राफी में पेश किया जाएगा, सैन जोस, CA में 23-24 फरवरी, 2010.
Energetiq एलईडी प्रकाशक एक लंबे परिचालन जीवन है - अप करने के लिए 20,000 घंटे - तो वहाँ कोई बल्ब परिवर्तन और बाद प्रणाली स्र्कना के रूप में पारंपरिक पारा लैंप के उपयोग के साथ हो सकता है. एक अतिरिक्त homogenizer के लिए कोई ज़रूरत नहीं - यह रोशनी की असाधारण एकरूपता, आम तौर पर गैर एकरूपता के 2% से कम प्रदान करता है. इसके अलावा, एलईडी प्रकाशक / बंद क्षमता पर तत्काल एक शटर के बिना ऑपरेशन के लिए अनुमति देता है.
", ऐतिहासिक, यूवी एल ई डी की वजह से उनके कम शक्ति और चमक रोशनी स्रोत के रूप में व्यावहारिक नहीं किया गया माना जाता है" पॉल Blackborow, Energetiq के सीईओ ने कहा. "उच्च चमक, उच्च उत्पादन प्रकाश स्रोतों में हमारी विशेषज्ञता हमें सक्षम है एक एलईडी प्रकाशक है कि चमक और शक्ति आज lithographic अनुप्रयोगों के लिए पारा लैंप से अधिक महत्वपूर्ण लाभ के साथ, जरूरत का उत्पादन कर सकते हैं बनाने के स्वामित्व की लागत काफी लंबे जीवन की वजह से कमी आई है. हमारे दीपक के बेहतर एकरूपता नियंत्रण और एलईडी प्रकाशक का कोई गर्म अप लाभ बढ़ाया प्रदर्शन के अवसरों के साथ हमारे ग्राहकों को उपलब्ध कराने हमारा मालिकाना प्रकाश इंजन और परिष्कृत ठंडा तकनीक जो यांत्रिक शटर, फिल्टर के लिए की आवश्यकता को समाप्त कर सकते हैं एक बहुत कॉम्पैक्ट डिजाइन के लिए होता है और महंगा प्रकाशिकी, जिससे प्रणाली जटिलता और उपकरण पदचिह्न को कम करने. "
Energetiq एलईडी प्रकाशक (लाइन) 365nm या 365/405/440nm संस्करणों (/ i / ज जी लाइन) के एक विकल्प में उपलब्ध है और नए या retrofitted उपकरण में एकीकृत किया जा सकता है.
स्रोत: http://www.energetiq.com/