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Energetiq 기술은 반도체 리소그래피의 응용을위한 고체 LED 조명기를 Unleashes

Published on February 19, 2010 at 3:34 AM

Energetiq 기술 주식 회사, 첨단 기술 응용 프로그램에 대한 전문 광원의 개발과 제조 업체, 반도체 리소그래피에 사용하기 위해 자사의 광원 제품 제공에 고체 LED 조명기을 발표했다. Energetiq LED의 조명기는 2월 23일에서 24일까지 2010는 산호세, 캘리포니아, SPIE 고급 리소그래피에서 소개합니다.

Energetiq LED의 조명기는 긴 작동 수명을 가지고 - 20,000 최대 시간 - 그래서 전통적인 수은 램프의 사용에서 발생할 수있는 더 벌브 변경 및 후속 시스템 다운 타임이 없습니다. 추가 균 질기에 대한 필요가 - 그것은 조명의 뛰어난 균일, 비 균일의 일반적으로 2 % 미만을 제공합니다. 또한, LED 조명기의 / 끄기 기능에 인스턴트가 셔터없이 작업하실 수 있습니다.

"역사적으로, 자외선 LED가 때문에 그들의 낮은 전력 및 밝기의 조명 소스로 실용적인 고려되지 않은,"Energetiq의 CEO 인 폴 Blackborow는 말했다. "높은 밝기, 높은 출력 광원에 저희 전문 수은 램프에 비해 상당한 장점과 함께, 오늘날의 리소그래피 응용 프로그램에 필요한 밝기와 전력을 생산할 수있는 LED 조명기을 만들어 우리를있게되었다. 소유권 비용이 크게 인한 수명 감소됩니다 우리 램프의. 뛰어난 균일성 제어 및 LED 조명기없이 따뜻한 - 업 이점 향상된 성능 기회를 고객에게 제공하고 있습니다. 우리의 독점적인 가벼운 엔진과 정교한 냉각 기술은 기계적 셔터, 필터의 필요성을 없앨 수 매우 컴팩트한 디자인으로 연결 그리고 값비싼 광학은, 따라서 시스템의 복잡도 및 도구 발자국을 감소. "

Energetiq LED의 조명기는 365nm (I - 라인) 또는 365/405/440nm의 선택 (I / H / G - 라인) 버전에서 사용할 수 있으며 신규 또는 재개 장한 도구에 통합될 수 있습니다.

출처 : http://www.energetiq.com/

Last Update: 5. October 2011 16:46

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