A Tecnologia de Energetiq Desencadeia o Iluminador De circuito integrado do DIODO EMISSOR DE LUZ para a Aplicação na Litografia do Semicondutor

Published on February 19, 2010 at 3:34 AM

Energetiq Tecnologia, Inc., um revelador e fabricante de fontes luminosas especializadas para aplicações da tecnologia avançada, anunciou um Iluminador de circuito integrado do DIODO EMISSOR DE LUZ a seu produto da fonte luminosa que oferece para o uso na litografia do semicondutor. O Iluminador do DIODO EMISSOR DE LUZ de Energetiq será introduzido na Litografia Avançada SPIE, os 23-24 de fevereiro de 2010 em San Jose, CA.

O Iluminador do DIODO EMISSOR DE LUZ de Energetiq tem uma vida de funcionamento longa -- até 20.000 horas -- tão não há nenhuns mudança do bulbo e tempo ocioso da máquina subseqüente do sistema como pode ocorrer com o uso de lâmpadas de mercúrio tradicionais. Oferece a uniformidade excepcional da iluminação, tipicamente menos de 2% da não uniformidade -- nenhuma necessidade para um homogenizador adicional. Além, a capacidade de ligar/desligar instantânea do Iluminador do DIODO EMISSOR DE LUZ permite a operação sem um obturador.

“Historicamente, os Diodos emissores de luz UV não foram considerados práticos como fontes da iluminação devido a sua baixa potência e brilho,” disse Paul Blackborow, CEO de Energetiq. “Nossa experiência no brilho alto, as fontes luminosas a rendimento elevado permitiu-nos de criar um iluminador do DIODO EMISSOR DE LUZ que pudesse produzir o brilho e pôr necessário para aplicações litográficas de hoje, com as vantagens significativas sobre lâmpadas de mercúrio. O Custo da posse é extremamente diminuído devido à longa vida de nossa lâmpada. O controle superior da uniformidade e nenhum benefício do aquecimento do Iluminador do DIODO EMISSOR DE LUZ fornecem nossos clientes as oportunidades aumentadas do desempenho. Nossos motor leve proprietário e técnica refrigerando sofisticada conduzem a um projecto muito compacto que possa eliminar a necessidade para obturadores mecânicos, filtros e sistema ótico caro, desse modo reduzindo a complexidade de sistema e a pegada da ferramenta.”

O Iluminador do DIODO EMISSOR DE LUZ de Energetiq está disponível em uma escolha (i/h/g-line) das versões 365nm (eu-linha) ou 365/405/440nm e pode ser integrado em ferramentas novas ou adaptadas.

Source: http://www.energetiq.com/

Last Update: 13. January 2012 03:03

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