Технология Energetiq Развязывает Полупроводниковый Иллюминатор СИД для Применения в Литографировании Полупроводника

Published on February 19, 2010 at 3:34 AM

Energetiq Технология, Inc., проявитель и изготовление специализированных источников света для применений передовой технологии, объявило полупроводниковый Иллюминатор СИД к своему продукту источника света предлагая для пользы в литографировании полупроводника. Иллюминатор СИД Energetiq будет введен на Литографировании Выдвинутом SPIE, 23-ье-24 февраля 2010 в Сан-Хосе, CA.

Иллюминатор СИД Energetiq имеет длиннюю жизнь operating -- до 20.000 часов -- настолько никакие изменения шарика и последующее время простоя системы как смогите произойти с пользой традиционных светильников ртути. Она предлагает исключительнейшее единообразие освещения, типично более менее чем 2% non-единообразия -- отсутствие потребности для дополнительного гомогенизатора. В добавлении, немедленная включено-выключено возможность Иллюминатора СИД позволяет для деятельности без штарки.

«Исторически, UV СИД не было учтено практически как источники освещения из-за их низкой мощности и яркость,» сказал Паылю Blackborow, CEO Energetiq. «Наша экспертиза в высокой яркости, высокие источники света выхода позволяла мы создать иллюминатор СИД который может произвести яркость и привести необходимое в действие для сегодняшних литографских применений, с значительно преимуществами над светильниками ртути. Цена владения значительно уменьшенные должные к длинной жизни нашего светильника. Главное управление единообразия и никакие преимущества подогрева Иллюминатора СИД не обеспечивают наших клиентов с увеличенными возможностями представления. Наши собственнический светлый двигатель и изощренный охлаждая метод водят к очень компактной конструкции которая может исключить потребность для механически штарок, фильтров и дорогой оптики, таким образом уменьшающ сложность системы и след ноги инструмента.»

Иллюминатор СИД Energetiq доступен в выборе (i/h/g-line) версий 365nm (я-линия) или 365/405/440nm и может быть интегрирован в новые или retrofitted инструменты.

Источник: http://www.energetiq.com/

Last Update: 13. January 2012 05:56

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit